Anlagenwiederherstellung / Hitachi CDSEM
Alarm beheben. Messung fortsetzen.
Ein Alarm bei Ausrichtung, Positionierung oder Messung unterbricht den Vorgang. ZeroDefects interpretiert die Bilddaten. Autopilot führt das qualifizierte Wiederherstellungsverfahren aus, prüft das Ergebnis und zieht bei Bedarf einen Ingenieur hinzu.
Der Betriebsablauf
Ein CDSEM misst winzige Strukturen auf einem Wafer. Zuverlässige Messungen setzen voraus, das richtige Muster zu finden, die richtige Messstelle anzufahren und die Messung korrekt zu positionieren.
Kleine Strukturen. Präzise Entscheidungen.
Eine Messung kann stoppen, weil die Anlage das Muster nicht ausrichten, die benötigte Messstelle nicht finden oder die Messung nicht korrekt abschließen kann. Zur Wiederherstellung reicht es nicht, einen Alarm zu quittieren: Die Anlage benötigt das passende Korrekturverfahren für den aufgetretenen Zustand.
Der Wiederherstellungsablauf verbindet die Anlagenoberfläche mit der Betriebsanweisung. Er folgt dem jeweils zutreffenden Verfahren für Ausrichtung, Positionierung oder Messung und prüft anschließend das Ergebnis. Die manuelle Bedienung vor Ort bleibt möglich und hat Vorrang.
Der Betriebsablauf
Von der Unterbrechung zur Messung.
Auf den Alarm folgt die Reaktion. Für Ausrichtung, Adressierung und Messung gibt es jeweils ein eigenes Verfahren zur Wiederherstellung; eine Bestätigungsprüfung kontrolliert das Ergebnis.
Ausrichtung wiederherstellen
Wenn die Ausrichtung fehlschlägt, stellt das qualifizierte Verfahren die Musterreferenz wieder her, damit die Anlage an der richtigen Position fortfahren kann.
Messstelle finden
Bei einer Unterbrechung der Positionierung folgt der Ablauf der Wiederherstellungssequenz, die die benötigte Struktur findet und den vorgesehenen Messkontext wiederherstellt.
Messung wiederherstellen
Das Verfahren zur Wiederherstellung der Messung wird über die Anlagenoberfläche angewendet. Wenn die Messeinrichtung angepasst werden muss, ist das erneute Einlernen des Rezepts ein zugehöriger Ablauf.
Ergebnis bestätigen
Das resultierende Bild und den Anlagenzustand anhand des qualifizierten Verfahrens prüfen. Sind die Bedingungen für die Wiederherstellung erfüllt, kann der Betrieb fortgesetzt werden; ungeklärte Zustände gehen zurück an das Engineering.
Ingenieure behalten die Kontrolle.
Die lokale manuelle Bedienung hat Vorrang. Zustände außerhalb des qualifizierten Umfangs der Alarmbehebung werden an einen Ingenieur weitergeleitet; die Automatisierung greift nicht in einen laufenden manuellen Eingriff ein.
ZeroDefects liefert die Bildinterpretation für die Entscheidung über die Wiederherstellung.
Autopilot führt das qualifizierte Anlagenverfahren aus, überprüft die Reaktion und steuert die Ausnahmebehandlung. InnoConnect und die Anlagenintegration verbinden den Ablauf mit der Anlage.
Builder Agents entdecken
Den nächsten Wiederanlauf ermöglichen.
Die Expertise liegt darin, den Zustand zu erkennen, die Reaktion zu wählen und zu wissen, wann ein Stopp nötig ist. Builder Agents helfen, dieses Wissen in einen Workflow zu überführen.
Demonstrieren und erklären
Zeigen Sie den Wiederanlauf an der Anlagenschnittstelle. Ergänzen Sie das Verfahren, die Entscheidungsregeln und die Bedingungen, die einen Ingenieur erfordern.
Erstellen und verfeinern
Builder Agents bereiten den Workflow vor. Ingenieure nutzen aufgezeichnete Nachweise und Simulationen, um die Abfolge und Ausnahmewege zu verfeinern.
Qualifizieren und erweitern
Bewerten Sie den Workflow für die Zielanlage und den Zielprozess. Passen Sie ihn für neue Aufgaben an und qualifizieren Sie jeden veränderten Betriebskontext.
Ihre Expertise. Neue Möglichkeiten.