Lösungen / Anlagenbetrieb
iWave AutopilotFertigungskompetenz im Einsatz.
Entdecken Sie Implementierungen von Innowave Tech für die Wiederherstellung des Anlagenbetriebs, die Selbstkorrektur von Prozessen und die Orchestrierung. Erfahren Sie anschließend, wie Builder Agents technisches Fachwissen in Workflows für die nächste Aufgabe umsetzen.
01 / Besi Datacon Evo-Serie
Ein bekannter Alarm.
Eine qualifizierte Reaktion.

- Steuerung prüfen
Bestätigen, dass der Agent handeln darf.
- Freigegebene Wiederherstellungsmaßnahme anwenden
Der programmierten Reaktion folgen.
- Anlagenzustand überprüfen
Ergebnis prüfen, bevor Sie fortfahren.
Wenn ein Anlagenalarm den Betrieb unterbricht, hängt die nächste Maßnahme vom Zustand, den verfügbaren Steuerungsmöglichkeiten und dem Wiederanlaufverfahren ab.
Autopilot prüft, ob die Steuerung verfügbar ist, folgt der für diesen Alarm qualifizierten Behebungssequenz und prüft anschließend den Anlagenzustand. Die Bedienperson behält Vorrang. Bei einem nicht behobenen Alarm oder einem nicht abgedeckten Zustand wird der Eskalationsweg befolgt.
Implementierte Alarmszenarien Szenarien.
- Justierpunkt nicht gefunden
- Post-Bond-Suche fehlgeschlagen
- Fehler beim Datenaustausch
- DataMatrix-Suche fehlgeschlagen
- Fehlerergebnis bei der Post-Bond-Inspektion
Jede Reaktion ist auf den Anlagenzustand und das qualifizierte Verfahren zur Fehlerbehebung abgestimmt.
Sehen Sie, wie Autopilot Abläufe direkt an der Anlage ausführt02 / Praxisbeispiel · Die-Bonder
Den Post-Epoxy-Prozess auf Kurs halten Kurs.
iWave Insight + iWave Autopilot

OffsetHöhe
Offset
InsightKorrektur festlegen
AutopilotFreigegebene Offsetwerte anwenden
Prozessdrift erkennen, die Korrektur bestimmen und an der Anlage anwenden – und das Ergebnis anschließend weiter überwachen.
- 01
Drift erkennen
Insight erkennt Drift in den Ergebnissen des Post-Epoxy-Prozesses des Die-Bonders.
- 02
Anpassung bestimmen
Insight ermittelt die empfohlenen Korrekturwerte für Druck und Höhe der Epoxidharzdüse.
- 03
Korrektur anwenden
Autopilot wendet die qualifizierten Offsetwerte an, um den Prozess innerhalb der geforderten Bedingungen zu halten und einen Epoxidharzfehler zu verhindern.
- 04
Nächstes Ergebnis überwachen
Die Ergebnisse nach dem Epoxidharzauftrag weiter überwachen, um die Korrektur zu bewerten und weitere Drift zu erkennen.
03 / Ueno SEKI Tape-and-Reel-AVI
Die Maschine als Gesamtsystem abstimmen System.

Koordinierte Anpassungen innerhalb festgelegter Grenzen
- Düsenarm
- Pick-and-Place
- Positioniertisch
- Revolverkopf
Düsenarm, Pick-and-Place-Einheit, Indexiertisch und Revolverkopf beeinflussen sich gegenseitig. Eine übergreifende Orchestrierung koordiniert ihre Anpassungen mit Blick auf dasselbe Qualitäts- und Durchsatzziel.
Inspektionsergebnisse und Beobachtungen des Prozesszustands steuern einen Anpassungsablauf innerhalb festgelegter Grenzen. Nach einer Wartung hilft dieser Ablauf, die Maschine wieder auf ihren höchsten nachhaltig erreichbaren Durchsatz in Einheiten pro Stunde einzustellen, wobei Qualität und Anlagenzustand berücksichtigt werden.
- 01
Prozess beobachten
Inspektionsqualität, Anlagenalarme und den Zustand der Maschinenfunktionen zusammenführen.
- 02
Innerhalb definierter Grenzen anpassen
Die relevanten Funktionen koordinieren und einen einzelnen Abstimmschritt innerhalb festgelegter Grenzen durchführen.
- 03
Vor dem Fortfahren prüfen
Die resultierende Qualität und das Alarmverhalten vor dem nächsten Schritt bewerten. Bei Erreichen eines Grenzwerts anhalten oder die Änderung rückgängig machen.
Betriebsziel ist ein nachhaltig erreichbarer Durchsatz innerhalb der qualifizierten Prozessgrenzen.
04 / Prozessanlagen, Messtechnik und OCAP
Vom Anlagenzustand zur Los- Entscheidung über den weiteren Umgang.

Schlechterer Anlagenzustand
Höhere Priorität bei der StichprobenprüfungBesserer Anlagenzustand
Niedrigere Priorität bei der StichprobenprüfungDer Anlagenzustand bestimmt die Priorität bei der Stichprobenprüfung. Die Entscheidung über das weitere Vorgehen bleibt bei den Ingenieuren.
Schritte gemäß der Entscheidung über das weitere Vorgehen befolgenUmfassende Orchestrierung verknüpft den Anlagenzustand mit den Losen, die Aufmerksamkeit erfordern, den durchzuführenden Messungen und den anschließenden Korrekturmaßnahmen.
Messungen dort konzentrieren, wo es ankommt.
Agenten zur Zustandsüberwachung analysieren Prozessanlagen. Lose von Anlagen mit einem hohen Zustandsindex erhalten eine niedrigere Priorität für messtechnische Stichproben; Lose von Anlagen mit einem niedrigen Zustandsindex erhalten eine höhere Priorität. Eine niedrigere Priorität bedeutet nicht, dass die Messtechnik automatisch umgangen wird.
Messtechnik automatisieren Arbeit.
Innowave Tech hat die folgenden Szenarien für diese Anlagenfamilien implementiert. Die Liste zeigt unser Implementierungsportfolio und keine einzelne Produktionslinie mit fünf Anlagen.
- Hitachi CDSEM
- Alarmbehebung und Korrekturmaßnahmen für Ausrichtung, Adressierung, Messung und Bestätigung. Erneutes Einlernen des Rezepts.
- KLA-Overlay
- Alarmbehebung und erneutes Einlernen des Rezepts.
- Onto AMT
- Alarmbehebung und erneutes Einlernen des Rezepts.
- AMAT AMP
- Alarmbehebung und erneutes Einlernen des Rezepts.
- KLA-Dunkelfeldinspektion
- Prozessstart und -stopp, Rezeptauswahl und Rezepterstellung.
Korrekturmaßnahmen verknüpfen Maßnahmen.
Automatisierte Maßnahmenpläne bei Abweichungen außerhalb der Kontrollgrenzen (OCAP) können ein Los für zusätzliche Messungen vorsehen, nach einem Alarm oder einer Anomalie das erneute Einlernen eines Rezepts auslösen und die Entscheidung über den weiteren Umgang mit dem Los koordinieren.
Automatisierter Ablauf.
Ingenieur Befugnis.
Nur die Bestätigung und Freigabe der Entscheidung über den weiteren Umgang mit dem Los erfordern einen Ingenieur. Die übrigen Schritte sind automatisiert.
- 01Automatisiert
Los sperren
- 02Automatisiert
Daten erfassen und prüfen
- 03Automatisiert
MRB-Analyse durchführen
Die MRB-Analyse bereitet die Entscheidungsgrundlage für den weiteren Umgang mit dem Los vor.
- 04Manuell / Ingenieur
Maßnahme zum weiteren Umgang bestätigen
Freigeben / Bestehen · Nacharbeiten / Entfernen · Verschrotten · Los aufteilen · Technische Bewertung
- 05Manuell / Ingenieur
Freigeben
Der Ingenieur gibt die Entscheidung über den weiteren Umgang mit dem Los frei, bevor der Ablauf fortgesetzt wird.
- 06Automatisiert
Sperre aufheben
Die Sperre gemäß der vom Ingenieur freigegebenen Entscheidung aufheben. Das Aufheben der Sperre bedeutet keine bedingungslose Freigabe für die Produktion.
So läuft der qualifizierte Workflow ab
Zustand erkennen
Der qualifizierte Agent erkennt den Zustand, den sein konfigurierter Workflow abdeckt.
Voraussetzungen prüfen
Bestätigen, dass der erforderliche Kontext und die zulässigen Betriebsbedingungen vorliegen.
Reaktion ausführen
Die festgelegte Reaktion über die qualifizierte Anlagenschnittstelle direkt an der Anlage ausführen.
Folgezustand überprüfen
Auf das erwartete Ergebnis prüfen. Wenn für einen Zustand keine Reaktion programmiert ist, keine ungenehmigte Aktion an der Anlage ausführen und den technischen Eskalationsweg einhalten.
Beispielhafter Workflow. Schnittstellenzugriff, Abhängigkeiten von Live-Daten und die Behandlung von Ausnahmen werden für die vorgesehene Anlage und Aufgabe festgelegt.
KI-Skalierbarkeit / Builder Agents
Den Workflow an die nächste Aufgabe anpassen.
Die Verifizierung nach einer Wartung erfordert andere Schritte, Bedingungen und Prüfungen als die routinemäßige Einrichtung. Builder Agents passen den Workflow anhand der neuen Demonstration und Verfahrensanweisung an. Vor der Ausführung direkt an der Anlage folgen Simulation und Qualifizierung durch Ingenieure.
Erfahren Sie, wie sich der Workflow anpasstIhre Expertise. Neue Möglichkeiten.