装置復旧 / Hitachi CDSEM
アラームを解消し、測定を再開。
位置合わせ、測定箇所の特定、または測定のアラームで作業が中断します。ZeroDefectsが画像情報を解釈し、Autopilotが認定済みの復旧手順を実行して結果を確認します。必要に応じてエンジニアに引き継ぎます。
運用の流れ
CDSEMはウェーハ上の微細な形状を測定します。信頼できる測定には、適切なパターンを見つけ、正しい測定箇所に到達し、測定位置を正確に設定することが欠かせません。
微細なパターン。的確な判断。
装置がパターンを位置合わせできない、必要な測定箇所を見つけられない、または測定を正しく完了できない場合、測定が停止することがあります。復旧には、アラームの確認だけでなく、発生した状態に適した是正手順が必要です。
復旧ワークフローは装置画面と運用手順を結び付けます。該当する位置合わせ、測定箇所の特定、または測定の手順に従い、結果を確認します。現場での手動操作は引き続き可能で、優先されます。
運用の流れ
中断から測定へ。
アラームに応じた対応を行います。アライメント、アドレッシング、測定にはそれぞれ固有の復旧手順があり、確認によって結果をチェックします。
位置合わせを復旧
位置合わせに失敗した場合、認定済みの手順に従ってパターンの基準位置を復旧し、装置が正しい位置から作業を続けられるようにします。
測定箇所を特定
測定箇所の特定が中断された場合、必要なパターンを見つけ、意図した測定条件を復元する復旧手順に従います。
測定を復旧
装置インターフェースから測定復旧手順を適用します。測定設定の見直しが必要な場合は、レシピの再ティーチングも関連するワークフローです。
結果を確認
得られた画像と装置の状態を認定済みの手順に照らして確認します。復旧条件を満たせば続行し、未解決の状態はエンジニアに引き継ぎます。
制御の主導権はエンジニアに。
現場での手動操作を優先します。認定された復旧範囲外の状態はエンジニアに引き継ぎ、自動化が進行中の手動介入を妨げることはありません。
ZeroDefectsが復旧判断に用いる画像を解釈します。
Autopilotが認定済みの装置手順を実行し、結果を検証して例外時の対応を管理します。InnoConnectと装置連携がワークフローを装置につなぎます。
Builder Agentsを見る
次の復旧対応を教える。
専門知識は、状態を見極め、対応を選び、いつ停止すべきかを判断することにあります。Builder Agentsは、その知識をワークフローに変えるのを支援します。
実演して説明
装置のインターフェース上で復旧手順を実演します。手順、判断ルール、エンジニアの対応が必要な条件を追加します。
構築して改善
Builder Agentsがワークフローを作成します。エンジニアは記録された証拠とシミュレーションを使い、手順と例外処理を改善します。
評価・承認して展開
対象の装置とプロセスに対してワークフローを評価します。新しいタスク向けに適応させ、変更された運用条件をそれぞれ評価・承認します。
あなたの専門知識から、新たな可能性へ。