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オペレーショナルインテリジェンス/計測サンプリング

工程で注意が必要な箇所を測定。

プロセス装置の健全性に基づき、計測対象ロットの優先順位を決定。サンプリング方針の範囲内で、健全性の低い装置で処理したロットを優先し、健全性の高い装置で処理したロットの優先度を下げます。

運用の流れ
半導体製造工程におけるウェハー搬送装置とウェハーキャリア。
工程の健全性 / ロットサンプリング

業務を支えるプラットフォーム

iWave Insight iWave Autopilot

サンプリングは運用上の判断。

計測能力は、必要なプロセスの測定範囲を維持しながら、測定の必要性が最も高いロットに振り向ける必要があります。ロットを処理した装置の状態も、その判断に役立つ情報です。

Insightが装置の健全性とロットの状況を分析します。Autopilotは、その結果に基づくサンプリング判断を運用ワークフローに反映し、該当する工場システムに届いたことを確認します。

運用の流れ

装置の健全性から測定の優先順位へ。

装置の状態、その装置で処理したロット、サンプリングワークフローを結び付けます。

工程の健全性 / ロットサンプリング
半導体製造工程におけるウェハー搬送装置とウェハーキャリア。
装置の健全性に関する根拠を基に、測定が必要なロットへ注意を向けます。
  1. プロセス装置の健全性を評価

    健全性監視エージェントが装置の状態を分析し、サンプリング判断に用いる健全性情報を生成します。

  2. ロットを関連付ける

    健全性評価を、その装置で処理したロットおよび関連するキューや工程の状況に結び付けます。

  3. 測定の優先順位を決める

    Insightは、定められたサンプリングルールの範囲内で、健全性の低い装置で処理したロットのサンプリング優先度を上げ、健全性の高い装置で処理したロットの優先度を下げます。

  4. 実行して確認する

    Autopilotがサンプリングワークフローを実行し、実行後のシステム状態を確認します。測定結果とその後の装置情報が次の判断を支えます。

必要な測定範囲を維持しながら優先順位を付ける。

エンジニアがサンプリング方針を定め、判断ロジックを確認します。変更した戦略を実運用に適用する前に、必要な測定範囲と運用データに照らして評価します。

業務を支えるプラットフォーム

Insightは、装置の健全性分析、サンプリング状況の可視化、意思決定支援を提供します。

Autopilotは運用ワークフローを実行し、意図した変更が反映されたことを確認します。

専門知識を次のタスクへ。

InsightのBuilder Agentsは、データセット、接続されたデータソース、設定された目標を使って仮説を提案し、データの不足を特定し、モデリング手法を検証します。AutopilotのBuilder Agentsは、対象工場のシステムに合わせて実行ワークフローを調整します。

Builder Agentsは、モデルとワークフローを適応させる現在のプラットフォーム機能です。エンジニアが導入前に新しいタスクをそれぞれ評価します。

あなたの専門知識から、新たな可能性へ。

AIをあなたのオペレーションに活用する。