装置を復旧
アラームを解消し、作業を再開。
アライメントの失敗から測定の中断まで、必要なときに適格性が確認された対応を装置に適用します。まずはHitachi CDSEMの復旧から。
産業向けAI / ソリューション
生産を止めない。一つひとつの判断を成果につなげる。
装置を復旧し、品質を検査し、プロセスを安定させ、オペレーションを連携させる。生産現場の実情に合わせて産業AIを活用します。
CDSEMのアラーム復旧を詳しく見る
Hitachi CDSEM · アライメントから測定まで
インテリジェンスを、どの業務に活かしますか？
現場の業務から始めましょう。個々のタスクをより良い操業につなぐ装置、判断、引き継ぎを探ります。
6 表示されている成果
品質を検査
次の工程に必要なものを、見極める。
部品の各面を検査し、カセットへの搭載を確認し、ウェーハの変色を検出します。業務に重要な欠陥と合否基準に合わせて、画像検査パイプラインを構築します。
プロセスを安定させる
装置を調整し、安定した結果へ。
装置の状態と健全性を踏まえてイオン注入装置のビームプロファイルを読み取り、調整を実行します。観察、補正、検証の同じ手順をダイボンダーの自己復旧にも適用します。
計測を自動化する
測定を滞りなく進める。
膜厚測定とOverlay測定を支えるレシピ手順を自動化します。アライメントをティーチングし、測定箇所を確認。エンジニアリングチェックを維持したまま、測定設定を復旧します。
オペレーションを連携する
すべての引き継ぎをワークフローの一部に。
キャリア、装置インターフェース、工場システムを一連の運用フローに統合します。ハンズフリーのプローバー運用から始め、その周辺業務へ展開します。
インテリジェンスをつなぐ
ホストを現場の業務につなぐ。
既存の装置を工場システムとつなぎます。InnoConnectはSECS/GEMコマンドを装置インターフェースの操作に変換し、取得可能な画面・ログデータを返します。装置の健全性に基づくサンプリングと部品トレーサビリティにより、運用状況の把握を広げます。
見る。考える。動く。
それぞれの強みを、重要な現場業務のために組み合わせる。
あなたのアプリケーション。あなたの運用。
ダッシュボード、オペレーター向けインターフェース、連携機能が、ソリューションに必要な機能をつなぎます。プロジェクトでは、1つのプラットフォームを使うことも、複数を組み合わせることもできます。
次のタスクにも、専門知識を。
新しい装置、製品、プロセスには、それぞれ異なる作業が伴います。Builder Agentsは、目標、データ、エンジニアリングの知見を活用し、その作業を支えるモデルやワークフローを構築・適応させます。
- 目標を定義
- 構築・適応
- 評価・適格性確認
導入前に、エンジニアが新しいタスクに照らして結果を評価します。ソフトウェアだけでなく、専門知識も拡張できます。
iWave Builder Agentsを見るあなたの専門知識から、新たな可能性へ。