すべてのレシピを、再び正確に。

位置合わせや測定箇所の設定から、再学習、検証、ゴールデンレシピの管理まで、AMT膜厚測定を支えるレシピ手順を自動化します。

業務を支えるプラットフォーム

信頼できる測定は、正しい設定から。

測定レシピは、装置への指令だけではありません。ダイグリッド、測定箇所、膜構造の特性、位置合わせの基準が、装置による測定位置と測定方法を左右します。

Autopilotは、エンジニアがその設定を確立・復旧する際に用いる装置操作手順を自動化します。レシピの再ティーチングが必要な場合は、該当する手順に従い、測定を再開する前に結果を確認します。

運用の流れ

自動化は装置の手順に沿って進みます。各段階で、レシピを使用可能にするための確認を維持します。

測定条件を確立する
適用するレシピと、そのダイグリッド、測定箇所、膜スタック構成を選択します。必要な測定オフセットは手順に従って設定します。
位置合わせを再学習させる
低倍率・高倍率の位置合わせを行い、基準パターンを特定し、装置のパターン認識学習手順に従います。
測定箇所を検証する
対象の測定箇所を確認し、所定の試行または再測定を実施します。再学習した設定を採用する前に、装置の表示と結果を確認します。
認定済みレシピを管理する
該当する保存、エクスポート、インポート手順を実行します。ゴールデンレシピを適切に管理し、承認済みの設定を次の測定作業でも利用できるようにします。

必要な位置合わせや測定のチェックを満たせないレシピには、エンジニアによる対応が必要です。自動化は承認済みの手順とその合格基準に従います。操作を最後まで実行しただけで、レシピが許容可能だとは判断しません。

Autopilotは装置のレシピ手順を実行し、装置の応答を確認して例外に対応します。このアプリケーションは、レシピの最適化に用いる手順を自動化します。

Builder Agentsは、エンジニアによる実演と説明を基に、別のレシピや計測装置向けのワークフローを準備します。エンジニアが位置合わせの手順、合格判定、例外時の対応経路を調整し、適応した一連の手順を承認します。

Builder Agentsは、モデルとワークフローを適応させるための現行のプラットフォーム機能です。エンジニアが新しいタスクをそれぞれ導入前に評価します。

あなたの専門知識から、新たな可能性へ。