设备恢复 / Hitachi CDSEM
解除报警，恢复测量。
对准、定位或测量报警中断任务。ZeroDefects 解读图像证据。Autopilot 执行经过验证的恢复程序、检查结果，并在需要时请工程师介入。
运行流程
CDSEM 测量晶圆上的微小特征。要获得可靠的测量结果，必须找到正确的图形、定位到正确的位置，并准确放置测量框。
微小特征，精准决策。
设备可能因无法对准图形、找到所需测量位置或正确完成测量而中断。恢复操作不只是确认报警：设备需要针对当前状况执行正确的修正程序。
恢复工作流程将设备画面与操作程序关联起来。它按照适用的对准、定位或测量路径执行操作，然后检查结果。本地手动操作始终可用，且具有优先权。
运行流程
从中断到测量。
根据报警采取相应措施。对准、寻址和测量各有对应的恢复程序；确认环节核查结果。
恢复对准
对准失败时，按照经过验证的程序恢复图形参考位置，使设备能够从正确位置继续运行。
找到测量位置
发生定位中断时，按照恢复步骤找到所需特征，并恢复预期的测量上下文。
恢复测量
通过设备界面执行测量恢复程序。如果需要修订测量设置，重新示教配方是相关工作流程。
确认结果
按照经过验证的程序检查生成的图像和设备状态。满足恢复条件后继续运行；未解决的问题交由工程师处理。
工程师始终掌握控制权。
现场人工操作始终优先。超出已确认恢复范围的情况交由工程师处理；自动化不会干扰正在进行的人工干预。
ZeroDefects 提供恢复决策所需的图像解读。
Autopilot 执行经过验证的设备程序、核验响应并处理异常路径。InnoConnect 和设备集成将工作流程连接至设备。
探索 Builder Agents
掌握下一次故障恢复。
专业能力体现在识别状况、选择应对方式，以及判断何时停止。Builder Agents 帮助将这些知识转化为工作流。
演示并说明
在设备界面上演示恢复操作。补充操作规程、决策规则以及需要工程师介入的条件。
构建并完善
Builder Agents 准备工作流。工程师利用记录的证据和仿真，完善操作顺序与异常处理路径。
验证并扩展
针对目标设备和工艺评估工作流。为新任务进行调整，并对每项变化后的操作场景进行验证。
凭借您的专业经验，开启新的可能。