设备恢复
解除报警，恢复作业。
从对准失败到测量中断，在设备需要时提供经过验证的应对方案。从 Hitachi CDSEM 故障恢复开始。
工业 AI / 解决方案
让生产持续运转。让每项决策发挥价值。
恢复设备运行。检测质量。稳定工艺。协同运营。让工业 AI 贴合生产现场的实际需求。
深入了解 CDSEM 报警恢复
Hitachi CDSEM · 从对准到测量
智能应该从哪里发挥作用？
从具体工作出发。探索将单项任务与更高效运营连接起来的设备、决策和交接环节。
6 已展示的成果
检测质量
稳定工艺
自动化量测
让测量融入生产流程。
自动执行厚度和 Overlay 测量所需的配方流程。设定对准方式、核验测量位置，并在保留工程核查环节的前提下恢复测量设置。
协同运营
连接智能
连接工厂主机与现场作业。
让现有设备融入工厂信息流。InnoConnect 将 SECS/GEM 命令转化为设备界面操作，并回传可获取的屏幕画面和日志数据。进一步通过基于设备健康状态的抽样和部件追溯，扩展运营视野。
感知。思考。行动。
各有所长，协同解决关键工作。
您的应用。您的运营。
仪表板、操作员界面和集成功能，连接解决方案所需的各项能力。项目可以使用单个平台，也可以组合多个平台。
让专业能力跟上下一项任务。
新设备、新产品或新工艺会改变工作内容。Builder Agents 利用您的目标、数据和工程知识，构建并调整支撑工作的模型或工作流程。
- 描述目标
- 构建与调整
- 评估与验证
部署前，工程师会根据新任务评估结果。扩展的不只是软件，还有专业能力。
探索 iWave Builder Agents凭借您的专业经验，开启新的可能。