解决方案 / 设备运行
iWave Autopilot让制造专业知识付诸实践。
探索 Innowave Tech 在设备恢复、工艺自愈和编排方面的实施案例,再了解 Builder Agents 如何将工程知识转化为下一项任务的工作流。
01 / Besi Datacon Evo 系列
已知报警。
经工程师确认的 响应。

- 检查控制状态
确认智能体可以执行操作。
- 执行经工程师确认的恢复操作
按预设响应流程执行。
- 核实设备状态
继续操作前检查结果。
当设备报警中断运行时,下一步操作取决于具体状况、可用的控制手段和恢复程序。
Autopilot 检查控制功能是否可用,遵循针对该报警已确认的恢复流程,并检查恢复后的设备状态。操作员仍享有优先权。未解决的报警或未处理的情况将按升级处理路径处置。
已实施的报警 场景。
- 未找到调整点
- 贴装后搜索失败
- 数据交换错误
- DataMatrix 码搜索失败
- 键合后检测结果错误
每项响应均针对具体的设备状态和经确认的恢复程序。
了解 Autopilot 如何在边缘端执行02 / 实际应用案例 · 固晶机
让环氧胶涂布后工序保持 过程。
iWave Insight + iWave Autopilot

偏移量高度
偏移量
Insight确定修正量
Autopilot应用经工程师确认的偏移量
检测工艺漂移,确定修正方案并在设备上实施,然后持续监测结果。
- 01
检测漂移
Insight 识别固晶机在环氧胶涂布后工序结果中的漂移。
- 02
确定调整方案
Insight 确定环氧胶点胶枪压力和高度的建议调整量。
- 03
应用修正
Autopilot 应用经确认的偏移量,使工艺保持在要求的条件范围内,并防止环氧胶相关错误。
- 04
监测下一次结果
持续监测涂胶后的结果,以评估修正效果并识别进一步的漂移。
03 / Ueno SEKI 编带与卷带自动视觉检测
将整台设备作为一个整体调校 系统。

协调且有界的调整
- 喷嘴臂
- 拾取与放置
- 分度平台
- 转塔
吸嘴臂、拾取与放置机构、分度平台和转塔相互影响。深度协同控制围绕同一质量与产量目标协调对它们的调整。
检测结果和工艺健康状况观测数据为有界限的调机流程提供依据。维护后,该流程有助于在兼顾质量和设备状态的前提下,将设备重新调校至可持续达到的最高每小时产量。
- 01
观察工艺过程
汇集检测质量、设备报警及设备各项功能的状态。
- 02
在规定范围内调整
协调相关功能,执行一次限定范围内的参数微调。
- 03
继续前先检查
在进入下一步之前,评估调整后的质量和报警表现。达到限值时暂停或回退。
运行目标是在经过验证的工艺限值内实现可持续的产量。
04 / 工艺设备、计量与 OCAP
从设备健康状况到批次 处置。

设备健康度较低
较高采样优先级设备健康度较高
较低采样优先级设备健康度决定采样优先级。处置决策仍由工程师作出。
按处置步骤执行广泛编排将设备健康状况与需要关注的批次、待执行的计量工作及后续纠正操作关联起来。
将测量聚焦于 关键之处。
健康监测智能体分析工艺设备。来自健康指数较高设备的批次,量测抽样优先级较低;来自健康指数较低设备的批次,优先级较高。优先级较低并不意味着自动跳过量测。
自动执行计量 正常运行。
Innowave Tech 已在以下设备类别中实施了这些场景。这份清单展示的是我们的实施项目,而非一条由五台设备组成的生产线。
- 日立 CDSEM
- 针对对准、寻址、测量和确认执行报警恢复与纠正操作,并重新示教配方。
- KLA 套刻量测
- 报警恢复与配方重新示教。
- Onto AMT
- 报警恢复与配方重新示教。
- AMAT AMP
- 报警恢复与配方重新示教。
- KLA 暗场检测
- 工艺启动与停止、配方选择和配方创建。
关联纠正 操作。
自动化失控行动计划(OCAP)可触发对批次进行额外测量,在报警或异常后重新示教配方,并协调批次处置。
自动推进。
工程师 权限。
只有处置确认和签核需要工程师参与。其余步骤均为自动化执行。
- 01自动化
暂停批次流转
- 02自动化
收集并审查数据
- 03自动化
执行 MRB 分析
MRB 分析为处置决策准备依据。
- 04人工 / 工程师
确认处置操作
放行 / 通过 · 返工 / 剥除 · 报废 · 拆分批次 · 工程评估
- 05人工 / 工程师
签核
工程师签核处置决定后,工作流程才继续。
- 06自动化
解除暂停
按照已签核的处置决定解除暂停。解除暂停并不意味着无条件放行进入生产。
经确认的工作流如何运行
识别条件
经确认的智能体识别其已配置工作流涵盖的条件。
检查前提条件
确认所需的上下文和获准的运行条件均已具备。
执行响应
通过经确认的设备接口,在设备边缘端执行既定响应。
验证后续状态
检查是否达到预期结果。如果某种情况没有预设响应,则不执行未经批准的设备操作,并遵循工程升级处理流程。
示意性工作流。接口访问权限、实时数据依赖项和异常处理方式均根据目标设备和任务确定。
AI 可扩展性 / Builder Agents
让工作流适应下一项任务。
维护后的验证与常规设置需要不同的步骤、条件和检查。Builder Agents 根据新的操作演示和规程调整工作流。随后进行仿真和工程师确认,之后才在设备边缘端执行。
了解工作流如何适应变化凭借您的专业经验,开启新的可能。