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解决方案 / 设备运行

iWave Autopilot

让制造专业知识付诸实践。

探索应用场景

探索 Innowave Tech 在设备恢复、工艺自愈和编排方面的实施案例,再了解 Builder Agents 如何将工程知识转化为下一项任务的工作流。

了解实际应用。

CDSEM 报警恢复 探针台免手动操作 固晶机自愈

01 / Besi Datacon Evo 系列

已知报警。
经工程师确认的 响应。

Besi Datacon Evo 固晶机,配有操作台和封闭式键合区域。
Besi Datacon Evo 系列
设备报警键合后搜索失败
  1. 检查控制状态

    确认智能体可以执行操作。

  2. 执行经工程师确认的恢复操作

    按预设响应流程执行。

  3. 核实设备状态

    继续操作前检查结果。

操作员控制优先。未解决的情况升级交由工程师处理。

当设备报警中断运行时,下一步操作取决于具体状况、可用的控制手段和恢复程序。

Autopilot 检查控制功能是否可用,遵循针对该报警已确认的恢复流程,并检查恢复后的设备状态。操作员仍享有优先权。未解决的报警或未处理的情况将按升级处理路径处置。

已实施的报警 场景。

  • 未找到调整点
  • 贴装后搜索失败
  • 数据交换错误
  • DataMatrix 码搜索失败
  • 键合后检测结果错误

每项响应均针对具体的设备状态和经确认的恢复程序。

了解 Autopilot 如何在边缘端执行

02 / 实际应用案例 · 固晶机

让环氧胶涂布后工序保持 过程。

iWave Insight + iWave Autopilot

键合后检测图像,其中标出了待复核的环氧胶区域。
键合后检测 / 环氧胶复核

Insight确定修正量

Autopilot应用经工程师确认的偏移量

继续监测点胶后的结果。

检测工艺漂移,确定修正方案并在设备上实施,然后持续监测结果。

  1. 01

    检测漂移

    Insight 识别固晶机在环氧胶涂布后工序结果中的漂移。

  2. 02

    确定调整方案

    Insight 确定环氧胶点胶枪压力和高度的建议调整量。

  3. 03

    应用修正

    Autopilot 应用经确认的偏移量,使工艺保持在要求的条件范围内,并防止环氧胶相关错误。

  4. 04

    监测下一次结果

    持续监测涂胶后的结果,以评估修正效果并识别进一步的漂移。

了解 Insight 的运行闭环

03 / Ueno SEKI 编带与卷带自动视觉检测

将整台设备作为一个整体调校 系统。

载带卷盘设备,配有载带卷盘和处理工位;图片来自公司演示资料库。仅作设备参考,并非经确认的 Ueno 装机设备。
设备参考 / 载带卷盘处理
检测质量工艺健康度

协调且有界的调整

  • 喷嘴臂
  • 拾取与放置
  • 分度平台
  • 转塔
调整检查质量与报警
根据工艺限值核验下一步操作。达到限值时暂停或回退。

吸嘴臂、拾取与放置机构、分度平台和转塔相互影响。深度协同控制围绕同一质量与产量目标协调对它们的调整。

检测结果和工艺健康状况观测数据为有界限的调机流程提供依据。维护后,该流程有助于在兼顾质量和设备状态的前提下,将设备重新调校至可持续达到的最高每小时产量。

  1. 01

    观察工艺过程

    汇集检测质量、设备报警及设备各项功能的状态。

  2. 02

    在规定范围内调整

    协调相关功能,执行一次限定范围内的参数微调。

  3. 03

    继续前先检查

    在进入下一步之前,评估调整后的质量和报警表现。达到限值时暂停或回退。

运行目标是在经过验证的工艺限值内实现可持续的产量。

04 / 工艺设备、计量与 OCAP

从设备健康状况到批次 处置。

工艺腔室之间的传送机械臂上承载着一片晶圆。
晶圆传送与工艺设备

设备健康度较低

较高采样优先级

设备健康度较高

较低采样优先级
量测OCAP处置

工程师决策

确认操作签核

设备健康度决定采样优先级。处置决策仍由工程师作出。

按处置步骤执行

广泛编排将设备健康状况与需要关注的批次、待执行的计量工作及后续纠正操作关联起来。

将测量聚焦于 关键之处。

健康监测智能体分析工艺设备。来自健康指数较高设备的批次,量测抽样优先级较低;来自健康指数较低设备的批次,优先级较高。优先级较低并不意味着自动跳过量测。

自动执行计量 正常运行。

Innowave Tech 已在以下设备类别中实施了这些场景。这份清单展示的是我们的实施项目,而非一条由五台设备组成的生产线。

日立 CDSEM
针对对准、寻址、测量和确认执行报警恢复与纠正操作,并重新示教配方。
KLA 套刻量测
报警恢复与配方重新示教。
Onto AMT
报警恢复与配方重新示教。
AMAT AMP
报警恢复与配方重新示教。
KLA 暗场检测
工艺启动与停止、配方选择和配方创建。

关联纠正 操作。

自动化失控行动计划(OCAP)可触发对批次进行额外测量,在报警或异常后重新示教配方,并协调批次处置。

自动推进。
工程师 权限。

只有处置确认和签核需要工程师参与。其余步骤均为自动化执行。

  1. 01
    自动化

    暂停批次流转

  2. 02
    自动化

    收集并审查数据

  3. 03
    自动化

    执行 MRB 分析

    MRB 分析为处置决策准备依据。

  4. 04
    人工 / 工程师

    确认处置操作

    放行 / 通过 · 返工 / 剥除 · 报废 · 拆分批次 · 工程评估

  5. 05
    人工 / 工程师

    签核

    工程师签核处置决定后,工作流程才继续。

  6. 06
    自动化

    解除暂停

    按照已签核的处置决定解除暂停。解除暂停并不意味着无条件放行进入生产。

了解基于设备健康状况的批次抽样

经确认的工作流如何运行

  1. 识别条件

    经确认的智能体识别其已配置工作流涵盖的条件。

  2. 检查前提条件

    确认所需的上下文和获准的运行条件均已具备。

  3. 执行响应

    通过经确认的设备接口,在设备边缘端执行既定响应。

  4. 验证后续状态

    检查是否达到预期结果。如果某种情况没有预设响应,则不执行未经批准的设备操作,并遵循工程升级处理流程。

示意性工作流。接口访问权限、实时数据依赖项和异常处理方式均根据目标设备和任务确定。

AI 可扩展性 / Builder Agents

让工作流适应下一项任务。

维护后的验证与常规设置需要不同的步骤、条件和检查。Builder Agents 根据新的操作演示和规程调整工作流。随后进行仿真和工程师确认,之后才在设备边缘端执行。

了解工作流如何适应变化

凭借您的专业经验,开启新的可能。

让 AI 在您的设备运行发挥作用。