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Lösungen / Anlagenbetrieb

iWave Autopilot

Fertigungskompetenz im Einsatz.

Anwendungsfälle entdecken

Entdecken Sie Implementierungen von Innowave Tech für die Wiederherstellung des Anlagenbetriebs, die Selbstkorrektur von Prozessen und die Orchestrierung. Erfahren Sie anschließend, wie Builder Agents technisches Fachwissen in Workflows für die nächste Aufgabe umsetzen.

So funktioniert es in der Praxis.

CDSEM-Alarmbehebung Freihändiger Proberbetrieb Selbstkorrektur beim Die-Bonding

01 / Besi Datacon Evo-Serie

Ein bekannter Alarm.
Eine qualifizierte Reaktion.

Besi Datacon Evo Die-Bonder mit Bedienkonsole und geschlossenem Bondbereich.
Besi Datacon Evo Serie
AnlagenalarmSuche nach dem Bonden fehlgeschlagen
  1. Steuerung prüfen

    Bestätigen, dass der Agent handeln darf.

  2. Freigegebene Wiederherstellungsmaßnahme anwenden

    Der programmierten Reaktion folgen.

  3. Anlagenzustand überprüfen

    Ergebnis prüfen, bevor Sie fortfahren.

Die Bedienersteuerung hat Vorrang. Ungeklärte Zustände werden an den zuständigen Ingenieur eskaliert.

Wenn ein Anlagenalarm den Betrieb unterbricht, hängt die nächste Maßnahme vom Zustand, den verfügbaren Steuerungsmöglichkeiten und dem Wiederanlaufverfahren ab.

Autopilot prüft, ob die Steuerung verfügbar ist, folgt der für diesen Alarm qualifizierten Behebungssequenz und prüft anschließend den Anlagenzustand. Die Bedienperson behält Vorrang. Bei einem nicht behobenen Alarm oder einem nicht abgedeckten Zustand wird der Eskalationsweg befolgt.

Implementierte Alarmszenarien Szenarien.

  • Justierpunkt nicht gefunden
  • Post-Bond-Suche fehlgeschlagen
  • Fehler beim Datenaustausch
  • DataMatrix-Suche fehlgeschlagen
  • Fehlerergebnis bei der Post-Bond-Inspektion

Jede Reaktion ist auf den Anlagenzustand und das qualifizierte Verfahren zur Fehlerbehebung abgestimmt.

Sehen Sie, wie Autopilot Abläufe direkt an der Anlage ausführt

02 / Praxisbeispiel · Die-Bonder

Den Post-Epoxy-Prozess auf Kurs halten Kurs.

iWave Insight + iWave Autopilot

Aufnahme einer Inspektion nach dem Bonden, auf der ein Epoxidharzbereich zur Überprüfung markiert ist.
Inspektion nach dem Bonden / Überprüfung des Epoxidharzbereichs

InsightKorrektur festlegen

AutopilotFreigegebene Offsetwerte anwenden

Ergebnisse nach dem Epoxidauftrag weiter überwachen.

Prozessdrift erkennen, die Korrektur bestimmen und an der Anlage anwenden – und das Ergebnis anschließend weiter überwachen.

  1. 01

    Drift erkennen

    Insight erkennt Drift in den Ergebnissen des Post-Epoxy-Prozesses des Die-Bonders.

  2. 02

    Anpassung bestimmen

    Insight ermittelt die empfohlenen Korrekturwerte für Druck und Höhe der Epoxidharzdüse.

  3. 03

    Korrektur anwenden

    Autopilot wendet die qualifizierten Offsetwerte an, um den Prozess innerhalb der geforderten Bedingungen zu halten und einen Epoxidharzfehler zu verhindern.

  4. 04

    Nächstes Ergebnis überwachen

    Die Ergebnisse nach dem Epoxidharzauftrag weiter überwachen, um die Korrektur zu bewerten und weitere Drift zu erkennen.

Entdecken Sie den Betriebsablauf von Insight

03 / Ueno SEKI Tape-and-Reel-AVI

Die Maschine als Gesamtsystem abstimmen System.

Tape-and-Reel-Anlage mit Trägerrollen und Handhabungsstationen aus der Bibliothek der Unternehmenspräsentation. Referenzbild der Anlage, keine identifizierte Installation bei Ueno.
Anlagenreferenz / Tape-and-Reel-Handhabung
InspektionsqualitätProzesszustand

Koordinierte Anpassungen innerhalb festgelegter Grenzen

  • Düsenarm
  • Pick-and-Place
  • Positioniertisch
  • Revolverkopf
AnpassenQualität und Alarme prüfen
Nächsten Schritt anhand der Prozessgrenzen prüfen. Bei Erreichen einer Grenze anhalten oder rückgängig machen.

Düsenarm, Pick-and-Place-Einheit, Indexiertisch und Revolverkopf beeinflussen sich gegenseitig. Eine übergreifende Orchestrierung koordiniert ihre Anpassungen mit Blick auf dasselbe Qualitäts- und Durchsatzziel.

Inspektionsergebnisse und Beobachtungen des Prozesszustands steuern einen Anpassungsablauf innerhalb festgelegter Grenzen. Nach einer Wartung hilft dieser Ablauf, die Maschine wieder auf ihren höchsten nachhaltig erreichbaren Durchsatz in Einheiten pro Stunde einzustellen, wobei Qualität und Anlagenzustand berücksichtigt werden.

  1. 01

    Prozess beobachten

    Inspektionsqualität, Anlagenalarme und den Zustand der Maschinenfunktionen zusammenführen.

  2. 02

    Innerhalb definierter Grenzen anpassen

    Die relevanten Funktionen koordinieren und einen einzelnen Abstimmschritt innerhalb festgelegter Grenzen durchführen.

  3. 03

    Vor dem Fortfahren prüfen

    Die resultierende Qualität und das Alarmverhalten vor dem nächsten Schritt bewerten. Bei Erreichen eines Grenzwerts anhalten oder die Änderung rückgängig machen.

Betriebsziel ist ein nachhaltig erreichbarer Durchsatz innerhalb der qualifizierten Prozessgrenzen.

04 / Prozessanlagen, Messtechnik und OCAP

Vom Anlagenzustand zur Los- Entscheidung über den weiteren Umgang.

Ein Wafer auf einem Transferarm zwischen Prozesskammern.
Wafer-Handhabung und Prozessanlagen

Schlechterer Anlagenzustand

Höhere Priorität bei der Stichprobenprüfung

Besserer Anlagenzustand

Niedrigere Priorität bei der Stichprobenprüfung
MesstechnikOCAPEntscheidung über das weitere Vorgehen

Entscheidungen durch Ingenieure

Aktion bestätigenFreigabe

Der Anlagenzustand bestimmt die Priorität bei der Stichprobenprüfung. Die Entscheidung über das weitere Vorgehen bleibt bei den Ingenieuren.

Schritte gemäß der Entscheidung über das weitere Vorgehen befolgen

Umfassende Orchestrierung verknüpft den Anlagenzustand mit den Losen, die Aufmerksamkeit erfordern, den durchzuführenden Messungen und den anschließenden Korrekturmaßnahmen.

Messungen dort konzentrieren, wo es ankommt.

Agenten zur Zustandsüberwachung analysieren Prozessanlagen. Lose von Anlagen mit einem hohen Zustandsindex erhalten eine niedrigere Priorität für messtechnische Stichproben; Lose von Anlagen mit einem niedrigen Zustandsindex erhalten eine höhere Priorität. Eine niedrigere Priorität bedeutet nicht, dass die Messtechnik automatisch umgangen wird.

Messtechnik automatisieren Arbeit.

Innowave Tech hat die folgenden Szenarien für diese Anlagenfamilien implementiert. Die Liste zeigt unser Implementierungsportfolio und keine einzelne Produktionslinie mit fünf Anlagen.

Hitachi CDSEM
Alarmbehebung und Korrekturmaßnahmen für Ausrichtung, Adressierung, Messung und Bestätigung. Erneutes Einlernen des Rezepts.
KLA-Overlay
Alarmbehebung und erneutes Einlernen des Rezepts.
Onto AMT
Alarmbehebung und erneutes Einlernen des Rezepts.
AMAT AMP
Alarmbehebung und erneutes Einlernen des Rezepts.
KLA-Dunkelfeldinspektion
Prozessstart und -stopp, Rezeptauswahl und Rezepterstellung.

Korrekturmaßnahmen verknüpfen Maßnahmen.

Automatisierte Maßnahmenpläne bei Abweichungen außerhalb der Kontrollgrenzen (OCAP) können ein Los für zusätzliche Messungen vorsehen, nach einem Alarm oder einer Anomalie das erneute Einlernen eines Rezepts auslösen und die Entscheidung über den weiteren Umgang mit dem Los koordinieren.

Automatisierter Ablauf.
Ingenieur Befugnis.

Nur die Bestätigung und Freigabe der Entscheidung über den weiteren Umgang mit dem Los erfordern einen Ingenieur. Die übrigen Schritte sind automatisiert.

  1. 01
    Automatisiert

    Los sperren

  2. 02
    Automatisiert

    Daten erfassen und prüfen

  3. 03
    Automatisiert

    MRB-Analyse durchführen

    Die MRB-Analyse bereitet die Entscheidungsgrundlage für den weiteren Umgang mit dem Los vor.

  4. 04
    Manuell / Ingenieur

    Maßnahme zum weiteren Umgang bestätigen

    Freigeben / Bestehen · Nacharbeiten / Entfernen · Verschrotten · Los aufteilen · Technische Bewertung

  5. 05
    Manuell / Ingenieur

    Freigeben

    Der Ingenieur gibt die Entscheidung über den weiteren Umgang mit dem Los frei, bevor der Ablauf fortgesetzt wird.

  6. 06
    Automatisiert

    Sperre aufheben

    Die Sperre gemäß der vom Ingenieur freigegebenen Entscheidung aufheben. Das Aufheben der Sperre bedeutet keine bedingungslose Freigabe für die Produktion.

Entdecken Sie das anlagengesundheitsbasierte Sampling von Losen

So läuft der qualifizierte Workflow ab

  1. Zustand erkennen

    Der qualifizierte Agent erkennt den Zustand, den sein konfigurierter Workflow abdeckt.

  2. Voraussetzungen prüfen

    Bestätigen, dass der erforderliche Kontext und die zulässigen Betriebsbedingungen vorliegen.

  3. Reaktion ausführen

    Die festgelegte Reaktion über die qualifizierte Anlagenschnittstelle direkt an der Anlage ausführen.

  4. Folgezustand überprüfen

    Auf das erwartete Ergebnis prüfen. Wenn für einen Zustand keine Reaktion programmiert ist, keine ungenehmigte Aktion an der Anlage ausführen und den technischen Eskalationsweg einhalten.

Beispielhafter Workflow. Schnittstellenzugriff, Abhängigkeiten von Live-Daten und die Behandlung von Ausnahmen werden für die vorgesehene Anlage und Aufgabe festgelegt.

KI-Skalierbarkeit / Builder Agents

Den Workflow an die nächste Aufgabe anpassen.

Die Verifizierung nach einer Wartung erfordert andere Schritte, Bedingungen und Prüfungen als die routinemäßige Einrichtung. Builder Agents passen den Workflow anhand der neuen Demonstration und Verfahrensanweisung an. Vor der Ausführung direkt an der Anlage folgen Simulation und Qualifizierung durch Ingenieure.

Erfahren Sie, wie sich der Workflow anpasst

Ihre Expertise. Neue Möglichkeiten.

Bringen Sie KI zum Einsatz: Betrieb.