Metrologie / Schichtdickenmessung
Jedes Rezept wieder präzise ausrichten.
Automatisieren Sie die Rezeptverfahren für die AMT-Schichtdickenmessung – von Ausrichtung und Einrichtung der Messstellen bis zum erneuten Einlernen, zur Überprüfung und zur Verwaltung des Golden Recipe.
Der Betriebsablauf
Die Plattformen hinter der Lösung
Zuverlässige Messungen beginnen bei der Einrichtung.
Ein Messrezept umfasst mehr als einen Gerätebefehl. Das Die-Raster, die Messstellen, die Eigenschaften des Schichtstapels und die Ausrichtungsreferenzen bestimmen gemeinsam, wo und wie das Gerät misst.
Autopilot automatisiert die Geräteverfahren, mit denen Ingenieure diese Einrichtung herstellen und wiederherstellen. Wenn ein Rezept erneut eingelernt werden muss, folgt der Ablauf dem geltenden Verfahren und prüft das Ergebnis, bevor die Messung wieder aufgenommen wird.
Der Betriebsablauf
Von der Rezepteinrichtung zur erneuten Messung.
Die Automatisierung folgt dem Geräteverfahren. In jeder Phase bleiben die Prüfungen erhalten, die das Rezept einsatzfähig machen.
Messkontext festlegen
Das passende Rezept mit seinem Die-Raster, den Messstellen und der Schichtstapelkonfiguration auswählen. Bei erforderlichen Messversätzen dem vorgesehenen Verfahren folgen.
Ausrichtung einlernen
Die Ausrichtung bei niedriger und hoher Vergrößerung durchführen, das Referenzmuster lokalisieren und dem Einlernverfahren des Geräts für die Mustererkennung folgen.
Messstellen überprüfen
Die vorgesehenen Messstellen bestätigen und den vorgeschriebenen Testlauf oder die erneute Messung durchführen. Gerätemeldungen und Ergebnisse prüfen, bevor die erneut eingelernte Einrichtung akzeptiert wird.
Qualifiziertes Rezept verwalten
Das jeweils geltende Verfahren zum Speichern, Exportieren oder Importieren durchführen. Die Verwaltung des Golden Recipe hält die freigegebene Einrichtung für die nächste Messaufgabe bereit.
Das Verfahren automatisieren – mit allen Prüfungen.
Ein Rezept, das die erforderlichen Ausrichtungs- oder Messprüfungen nicht besteht, muss von Ingenieuren geprüft werden. Die Automatisierung folgt dem qualifizierten Verfahren und seinen Akzeptanzkriterien; sie leitet nicht allein aus der Ausführung der Bedienschritte ab, dass ein Rezept akzeptabel ist.
Die Plattformen hinter der Lösung
Autopilot führt die Verfahren für Geräterezepturen aus, prüft die Reaktionen des Geräts und behandelt Ausnahmen. Diese Anwendung automatisiert das Verfahren zur Optimierung des Rezepts.
Fachwissen für die nächste Aufgabe nutzen.
Builder Agents nutzen die Demonstration und Erläuterung eines Ingenieurs, um den Ablauf für ein anderes Rezept oder Metrologiegerät vorzubereiten. Ingenieure verfeinern die Ausrichtungsschritte, Akzeptanzprüfungen und Ausnahmebehandlungen und qualifizieren anschließend die angepasste Abfolge.
Builder Agents bieten die aktuelle Plattformfunktion zur Anpassung von Modellen und Abläufen. Ingenieure bewerten jede neue Aufgabe vor dem Einsatz.
Ihre Expertise. Neue Möglichkeiten.