支援作業的平台
可靠量測，從正確設定開始。
量測配方不只是設備指令。晶粒網格、量測點位、膜層堆疊特性與對位基準，共同決定設備在何處及如何量測。
Autopilot 將工程師用來建立及恢復設定的設備操作程序自動化。當配方需要重新教導時，工作流程會遵循適用程序，並在恢復量測前檢查結果。
作業流程
從配方設定到重新量測。
自動化依循設備作業程序。每個階段都保留確保配方可用的檢查。
AMT ／配方重新教導
建立量測條件
選擇適用的配方及其晶粒網格、量測位置與薄膜堆疊設定。依照程序設定任何必要的量測偏移量。
教導對位
完成低倍率與高倍率對位、找出參考圖樣，並依循設備的圖樣辨識訓練程序。
驗證量測位置
確認預定的量測位置，並執行規定的試測或重新量測。接受重新教導的設定前，先檢查設備提示與結果。
管理合格配方
執行適用的儲存、匯出或匯入程序。標準配方管理可確保核准的設定可供下一項量測任務使用。
自動化執行程序，保留每項檢查。
若配方無法通過所需的對位或量測檢查，就需要工程師介入。自動化流程遵循經認可的程序及其驗收標準；不會僅憑操作步驟已完成，就推定配方可以接受。
支援作業的平台
Autopilot 執行設備配方程序、檢查設備回應並處理例外狀況。此應用將用於最佳化配方的程序自動化。
將專業知識帶入下一項任務。
Builder Agents 運用工程師的示範與說明，為其他配方或量測設備準備工作流程。工程師調整對位步驟、驗收檢查與例外處理路徑，然後驗證調整後的流程。
Builder Agents 提供現有平台用於調整模型與工作流程的能力。工程師在部署前評估每項新任務。
發揮您的專業，開創嶄新可能。