運用オーケストレーション / ウェーハプロービング
キャリア、装置、工場をつなぐ。
キャリアの自動搬送をロードポート、プローバーインターフェース、工場システムと連携させます。装置の状態とロットの識別情報を照合し、実際の運用状態に基づいて次の工程に進みます。
受け渡しをワークフローに組み込む。
無人搬送車が装置に到着するだけでは、ハンズフリー運用は実現しません。キャリア、ロードポート、ドア、装置画面、工場システムには、それぞれ次の工程に必要な情報があります。
このOPUSプローバーへの実装では、Autopilotが搬送・装置インターフェースと連携し、各工程間の受け渡しを調整します。物理的な連携でドアとロードポートの動作を扱い、ソフトウェアが装置の状態とロット／キャリアの識別情報を工場システムと照合します。エンジニアが必要な作業には、引き続き遠隔監督を利用できます。
運用の流れ
観察からアクションへ。
状況を把握する
予定されたロットとキャリアの識別情報、装置の状態、工場システムからの指示を集約します。
搬送を調整する
設定されたE84ハンドシェイクを含め、搬送ロボットによるキャリアの受け渡しをロードポートとドアのインターフェースに同期させます。
装置を操作する
設定されたプローバーインターフェースの手順を実行し、必要な状態情報を工場システムとやり取りします。
次の状態を照合する
次の受け渡しの前に、装置とキャリアの状態を確認します。例外は、定められた監督・復旧経路に引き継ぎます。
1つの操作に、複数の情報源。
プローバーの状態、キャリアID、工場システムの状態は、それぞれ独立した情報です。ワークフローでは、1つの画面を変更すればすべてのシステムに反映されると想定せず、情報を照合する必要があります。現場での手動操作とエンジニアによる遠隔介入も運用設計に含まれます。
専門知識を次のタスクへ。
装置が変われば、インターフェース、搬送手順、運用ルールも変わります。Autopilot Builder Agentsは、実演と手順書を用いてワークフローをカスタマイズします。自動化を拡大する前に、エンジニアが対象の装置やシステムとの連携を含む一連の工程をシミュレーションし、適格性を確認します。
Builder Agentsがワークフローを適応させます。機械的インターフェース、ロボット連携、工場システムとの連携仕様は、引き続きソリューションエンジニアリングの対象です。
業務を支えるプラットフォーム
Autopilotは、検証済みの装置ワークフローと例外時の対応経路を調整します。InnoConnect、遠隔監督、装置固有の連携機能が、ソフトウェアの判断を実際の運用につなぎます。
あなたの専門知識から、新たな可能性へ。