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Betriebsorchestrierung / Wafer-Probing

Carrier, Anlage und Fabrik verbinden.

Den automatisierten Carrier-Transfer mit Ladeport, Prober-Schnittstelle und Fabriksystemen koordinieren. Anlagenzustand und Losidentität abgleichen, damit der nächste Schritt dem tatsächlichen Betriebszustand entspricht.

Ein mobiler Roboter und ein Gelenkarm übergeben einen Wafer-Carrier an einem Prober-Ladeport.

Übergaben in den Ablauf integrieren.

Die Ankunft eines automatisierten Fahrzeugs an einer Anlage ist nur ein Teil des freihändigen Betriebs. Carrier, Ladeport, Tür, Anlagenoberfläche und Fabriksystem enthalten jeweils Informationen, von denen der nächste Schritt abhängt.

Bei dieser Implementierung für einen OPUS-Prober arbeitet Autopilot mit den Schnittstellen für Materialtransfer und Anlage zusammen, um diese Übergaben zu koordinieren. Die physische Integration steuert das Verhalten von Tür und Ladeport; die Software gleicht Anlagenzustand sowie Los- und Carrier-Identität mit den Fabriksystemen ab. Für Aufgaben, die einen Ingenieur erfordern, bleibt die Fernüberwachung verfügbar.

Der Betriebsablauf

Von der Beobachtung zur Maßnahme.

  1. Kontext herstellen

    Die erwartete Los- und Carrier-Identität, den Anlagenzustand und die Anweisungen der Fabriksysteme zusammenführen.

  2. Übergabe koordinieren

    Die Carrier-Übergabe durch den mobilen Roboter mit der Ladeport- und Türschnittstelle synchronisieren, einschließlich des konfigurierten E84-Handshakes.

  3. Anlage bedienen

    Die konfigurierten Schritte an der Prober-Schnittstelle ausführen und die erforderlichen Statusinformationen mit den Fabriksystemen austauschen.

  4. Nächsten Zustand abgleichen

    Vor der nächsten Übergabe den Anlagen- und Carrier-Zustand prüfen. Ausnahmen an den festgelegten Überwachungs- und Wiederherstellungspfad weiterleiten.

Ein Betriebsvorgang. Mehrere Informationsquellen.

Proberstatus, Carrier-Identität und Zustand der Fabriksysteme sind getrennte Signale. Der Ablauf muss sie abgleichen, statt anzunehmen, dass eine Änderung auf einer Oberfläche alle Systeme aktualisiert. Die manuelle Bedienung vor Ort und der Eingriff durch Ingenieure aus der Ferne bleiben Teil des Betriebskonzepts.

Fachwissen für die nächste Aufgabe nutzen.

Eine andere Anlage bringt eine andere Schnittstelle, Transfersequenz und andere Betriebsregeln mit sich. Autopilot Builder Agents passen den Ablauf anhand von Demonstrationen und Verfahrensanweisungen an. Ingenieure simulieren und qualifizieren die gesamte Sequenz mit den relevanten Anlagen- und Systemintegrationen, bevor die Automatisierung ausgeweitet wird.

Builder Agents passen den Ablauf an. Mechanische Schnittstellen, Roboterintegration und Vereinbarungen mit Fabriksystemen bleiben Teil des Lösungsengineerings.

Die Plattformen hinter der Lösung

Autopilot koordiniert den qualifizierten Anlagenablauf und die Ausnahmebehandlung. InnoConnect, Fernüberwachung und anlagenspezifische Integrationen verbinden Softwareentscheidungen mit dem Betrieb.

Ihre Expertise. Neue Möglichkeiten.

Bringen Sie KI zum Einsatz: Betrieb.