外観検査／ウェーハ搬送
次の搬送前に装填状態を検査。
ウェーハの交差、二重装填、余剰、欠落を確認。ロット識別情報を読み取り、付属のバーコードと照合します。装填状態の確認とトレーサビリティを同じ検査タスクにまとめます。
正しいウェーハを、正しいスロットに。
カセットを次の工程に送る前に、内容物と識別情報が予定された装填内容と一致している必要があります。ウェーハのスロット違い、2枚重なり、欠落があると、次の搬送工程で扱う状態が変わります。
この検査ソリューションは、同じタスクを2つの視点から確認します。上部カメラでウェーハの装填状態を確認し、側面カメラでロット識別情報を読み取ってフォイルバッグのバーコードと照合します。専用ステーションにカメラ、照明、位置決め、状態表示を集約し、オペレーターの作業を支えます。
運用の流れ
観察からアクションへ。
カセットをセット
カセットを検査ステーションに配置し、設定されたカメラと照明の条件で装填状態を撮影します。
スロットを検査
上部カメラの画像を使い、想定される装填状態に照らして、ウェーハの交差、二重装填、余剰、欠落を特定します。
識別情報を照合
側面カメラの画像からロット識別情報を読み取り、スキャンしたフォイルバッグのバーコードと照合します。
結果を次の対応につなげる
検査結果とステーションの状態を表示し、次の搬送工程に進む前にオペレーターが装填状態や識別情報の不一致に対応できるようにします。
正しい装填状態を定義する。
検査ルールでは、想定どおりの空きスロットとウェーハの欠落を区別する必要があります。カメラの校正、反射光、カセットの位置、識別表示の読み取りやすさが結果に影響します。検査ステーションの結果はオペレーターの次の対応を支えるものであり、ロットの自動リリースを意味するものではありません。
専門知識を次のタスクへ。
ZeroDefects Builder Agentsは、サンプル画像と求められる検査結果をもとにアンサンブルを設計し、各モデルの寄与度を調整します。別のカセット、ウェーハ形式、検査目的に対応する場合は、データパイプラインとアンサンブルを適応させ、導入前に学習、検証、テストを行います。
ZeroDefectsは画像処理パイプラインの開発・管理基盤を提供します。カメラとステーションのハードウェアはタスクに合わせて構成します。
業務を支えるプラットフォーム
ZeroDefectsは、検査モデル、データパイプライン、およびそのMLOpsライフサイクルをプロジェクトに提供します。APIを通じて推論結果を検査アプリケーションやトレーサビリティのワークフローに連携します。
あなたの専門知識から、新たな可能性へ。