正确的晶圆，放在正确的槽位。
晶圆盒进入下游工序前，其内容物和身份必须与预期装载相符。晶圆放错槽位、两片叠放或晶圆缺失，都会影响后续搬运步骤。
该检测方案从两个视角完成同一任务：顶部相机检查晶圆装载情况；侧面相机读取批次标识，并与铝箔袋条码比对。专用工位将相机、照明、定位和状态指示整合到操作员的工作流程中。
运行流程
从观察到行动。
放置晶圆盒
将晶圆盒放置在检测工位，并在已配置的相机和照明条件下采集装载图像。
检查槽位
利用顶部相机图像，根据预期装载配置识别晶圆交叉放置、叠放、多放和缺失情况。
核对身份
从侧面相机图像读取批次标识，并与扫描得到的铝箔袋条码比对。
让结果指导行动
呈现检测结果和工位状态，让操作员在下一步搬运前处理装载或身份不符的问题。
明确正确装载的标准。
检测规则必须区分预期的空槽位与晶圆缺失。相机校准、眩光、晶圆盒位置及身份标识的可读性都会影响结果。检测工位的结果为操作员的下一步行动提供依据，并不意味着自动放行批次。
将专业知识带入下一项任务。
ZeroDefects Builder Agents 利用样本图像和所需检测结果设计集成模型，并调整各模型的贡献。面对其他晶圆盒、晶圆规格或检测目标，项目会调整数据管道和集成模型，并在部署前完成训练、验证和测试。
ZeroDefects 提供开发和管理视觉处理流程的平台；相机和工位硬件按任务配置。
支撑实际工作的各大平台
ZeroDefects 将检测模型、数据管道及其 MLOps 生命周期引入项目。API 将推理结果接入检测应用和追溯流程。
凭借您的专业经验，开启新的可能。