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視覺檢測/晶圓搬運

進入下一步前,先檢查裝載情況。

檢查晶圓是否交叉放置、重疊、多出或缺少。讀取批次識別資訊,並與隨附條碼比對。在同一檢測任務中兼顧裝載完整性與可追溯性。

實際晶圓匣檢測畫面,標示出槽位邊界及晶圓交叉放置的情況。

正確的晶圓,放在正確的槽位。

晶圓匣進入後續製程前,其內容與身分必須符合預期裝載配置。晶圓放錯槽位、兩片晶圓疊在一起,或缺少晶圓,都會改變下一個搬運步驟面對的情況。

此檢測方案從兩個視角執行同一任務:頂部相機檢查晶圓裝載情況;側面相機讀取批次識別資訊,並與鋁箔袋條碼比對。專用檢測站整合相機、照明、定位與狀態指示,配合操作員的工作流程。

作業流程

從觀察到行動。

  1. 放置晶圓匣

    將晶圓匣放置於檢測站,在設定好的相機與照明條件下拍攝裝載情況。

  2. 檢查槽位

    利用頂部相機影像,對照預期裝載配置,識別交叉放置、重疊、多出及缺少的晶圓。

  3. 核對身分

    從側面相機影像讀取批次識別資訊,並與掃描取得的鋁箔袋條碼比對。

  4. 讓結果可供採取行動

    呈現檢測結果與檢測站狀態,讓操作員在下一個搬運步驟前處理裝載或身分資訊不符的情況。

定義正確裝載的樣貌。

檢測規則必須區分預期留空的槽位與缺少的晶圓。相機校準、眩光、晶圓匣位置及識別標記的可讀性,都會影響結果。檢測站的結果可協助操作員決定下一步,並不代表批次會自動放行。

將專業知識帶入下一項任務。

ZeroDefects Builder Agents 使用樣本影像與所需檢測結果,設計集成模型並調整各模型的貢獻。針對其他晶圓匣、晶圓規格或檢測目標,專案會調整資料管線與集成模型,並在部署前完成訓練、驗證和測試。

ZeroDefects 提供開發及管理視覺處理管線的平台;相機與檢測站硬體則依任務配置。

支援作業的平台

ZeroDefects 將檢測模型、資料管線及其 MLOps 生命週期導入專案。API 將推論結果連接至檢測應用與追溯工作流程。

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