
正確的晶圓,放在正確的槽位。
晶圓匣進入後續製程前,其內容與身分必須符合預期裝載配置。晶圓放錯槽位、兩片晶圓疊在一起,或缺少晶圓,都會改變下一個搬運步驟面對的情況。
此檢測方案從兩個視角執行同一任務:頂部相機檢查晶圓裝載情況;側面相機讀取批次識別資訊,並與鋁箔袋條碼比對。專用檢測站整合相機、照明、定位與狀態指示,配合操作員的工作流程。
作業流程
從觀察到行動。
放置晶圓匣
將晶圓匣放置於檢測站,在設定好的相機與照明條件下拍攝裝載情況。
檢查槽位
利用頂部相機影像,對照預期裝載配置,識別交叉放置、重疊、多出及缺少的晶圓。
核對身分
從側面相機影像讀取批次識別資訊,並與掃描取得的鋁箔袋條碼比對。
讓結果可供採取行動
呈現檢測結果與檢測站狀態,讓操作員在下一個搬運步驟前處理裝載或身分資訊不符的情況。
定義正確裝載的樣貌。
檢測規則必須區分預期留空的槽位與缺少的晶圓。相機校準、眩光、晶圓匣位置及識別標記的可讀性,都會影響結果。檢測站的結果可協助操作員決定下一步,並不代表批次會自動放行。
將專業知識帶入下一項任務。
ZeroDefects Builder Agents 使用樣本影像與所需檢測結果,設計集成模型並調整各模型的貢獻。針對其他晶圓匣、晶圓規格或檢測目標,專案會調整資料管線與集成模型,並在部署前完成訓練、驗證和測試。
ZeroDefects 提供開發及管理視覺處理管線的平台;相機與檢測站硬體則依任務配置。
支援作業的平台
ZeroDefects 將檢測模型、資料管線及其 MLOps 生命週期導入專案。API 將推論結果連接至檢測應用與追溯工作流程。
發揮您的專業,開創嶄新可能。