プロセス保護／ウェーハ検査
色の変化を捉える。次の工程を守る。
保存されたCDSEM画像や稼働中のチャンバー映像からウェーハの変色を検出し、適切な通知や装置停止につなげます。
運用の流れ
業務を支えるプラットフォーム
証拠が現れる場面で活用する。
プロセス条件によっては、ロットの処理後に測定画像で異常が確認できる場合があります。一方、ウェーハがチャンバー内にある間に観察できる場合もあります。これらは異なる対応経路を持つ、別々の検査場面です。
ZeroDefectsは両方に対応します。処理後の確認ではロット識別情報に紐づく画像解析を、定められたチャンバー内の処理時間帯ではカメラによる検出をサポートします。
運用の流れ
2つの検査環境。明確な対応。
それぞれの経路で、使用するデータ、トリガー、装置連携が異なります。
保存された測定画像を検査
対象ロットの処理完了後、保存されたCDSEM画像を取得し、指定された変色状態を解析します。
検出結果をプロセスにつなぐ
画像の証拠をロットに紐付け、エンジニアリング部門に通知し、設定された上流のプロセス装置への対応を実行します。このケースで停止する対象はCDSEMではなくエッチング装置です。
チャンバー内の対象時間帯を監視
稼働中のチャンバーを対象とする用途では、カメラと近接センサーの情報を使い、スピンプラットフォームの動作から搬出まで、定められた処理時間帯のウェーハを撮影します。
設定された停止を実行
指定された変色状態を検出し、装置停止用のI/O経路を作動させます。後続の確認に備えて証拠を保存します。
運用環境に合わせた検出を。
関連する良品・不良品の事例、カメラ条件、プロセスウィンドウに照らしてモデルを評価・承認します。保存画像を使うワークフローと、チャンバー内でのリアルタイムのワークフローには、それぞれ固有の連携と対応動作の確認が必要です。
業務を支えるプラットフォーム
ZeroDefectsは、これらの用途で画像による検出と、それに連動する通知または停止のための連携機能を提供します。
専門知識を次のタスクへ。
Builder Agentsは、代表的な画像と必要な検出結果を使って検査モデル群を適応させます。導入前に、エンジニアが新しいウェーハの外観、カメラ位置、プロセス条件で結果を検証します。
Builder Agentsは、モデルとワークフローを適応させるための現行のプラットフォーム機能です。エンジニアが導入前に新しいタスクをそれぞれ評価します。
あなたの専門知識から、新たな可能性へ。