Prozessschutz / Waferinspektion
Farbveränderungen erkennen. Den nächsten Schritt schützen.
Waferverfärbungen in gespeicherten CDSEM-Bildern oder Live-Aufnahmen aus der Kammer erkennen und das Ergebnis mit der vorgesehenen Benachrichtigung oder einem Anlagenstopp verknüpfen.
Der Betriebsablauf
Die Plattformen hinter der Lösung
Daten dort nutzen, wo sie entstehen.
Manche Prozesszustände werden nach der Bearbeitung eines Loses in Messbildern sichtbar. Andere lassen sich beobachten, während sich der Wafer noch in der Kammer befindet. Das sind getrennte Inspektionskontexte mit unterschiedlichen Reaktionswegen.
ZeroDefects unterstützt beides: eine mit der Losidentität verknüpfte Bildanalyse für die Prüfung nach dem Prozess und eine kamerabasierte Erkennung während des definierten Bearbeitungsfensters in der Kammer.
Der Betriebsablauf
Zwei Inspektionskontexte. Eine definierte Reaktion.
Jeder Pfad nutzt eigene Daten, Auslöser und Anlagenanbindungen.
Gespeicherte Messbilder prüfen
Nach Abschluss des betreffenden Loses dessen gespeicherte CDSEM-Bilder abrufen und auf die festgelegten Verfärbungen analysieren.
Befund mit dem Prozess verknüpfen
Die Bildbefunde dem Los zuordnen, das Engineering-Team benachrichtigen und die konfigurierte Reaktion der vorgelagerten Prozessanlage auslösen. In diesem Fall ist die Ätzanlage das Stoppziel, nicht das CDSEM.
Prozessfenster in der Kammer beobachten
In der Live-Anwendung in der Kammer anhand von Kamera- und Näherungssensordaten den Wafer während des definierten Bearbeitungsfensters erfassen – von der Aktivität auf der Spin-Plattform bis zum Entladen.
Konfigurierten Stopp auslösen
Die festgelegte Verfärbung erkennen und den I/O-Pfad für den Anlagenstopp aktivieren. Die Bildbefunde für die Nachverfolgung sichern.
Erkennung auf den Einsatzkontext abstimmen.
Das Modell anhand relevanter Gut- und Fehlerbeispiele, Kamerabedingungen und des Prozessfensters qualifizieren. Der Ablauf mit gespeicherten Bildern und der Live-Ablauf in der Kammer erfordern jeweils eigene Integrations- und Reaktionsprüfungen.
Die Plattformen hinter der Lösung
ZeroDefects stellt für diese Anwendungen die visuelle Erkennung sowie die zugehörige Anbindung für Benachrichtigungen oder Anlagenstopps bereit.
Fachwissen für die nächste Aufgabe nutzen.
Builder Agents passen das Inspektionsensemble anhand repräsentativer Bilder und des gewünschten Erkennungsergebnisses an. Ingenieure validieren das Ergebnis für das neue Wafererscheinungsbild, die Kameraposition und die Prozessbedingungen vor dem Einsatz.
Builder Agents bieten die aktuelle Plattformfunktion zur Anpassung von Modellen und Arbeitsabläufen. Ingenieure bewerten jede neue Aufgabe vor dem Einsatz.
Ihre Expertise. Neue Möglichkeiten.