すべての引き継ぎに、ロット情報を。

ウェーハ受入試験と出荷品質保証にわたり、ロット識別情報、工場の記録、装置の手順をつなぎます。実作業に付随する事務的な手順を自動化します。

業務を支えるプラットフォーム

装置の外でも作業は続く。

試験や出荷検査に到着したロットには、ラベル、装置、工場システムの間で一貫性を保つべき情報が伴います。引き継ぎのたびに繰り返す照会や手入力が、作業を増やします。

Autopilotは、こうしたソフトウェアと装置の手順を連携させます。WATとOQAでは作業が異なりますが、どちらもロット情報の維持と、各システム操作の結果確認が欠かせません。

運用の流れ

ロットと工程段階に応じて、適切なWATまたはOQAの手順を使用します。

ロット情報を確認
搬入されたロットを検出し、関連するMES、RFID、工程段階の情報を取得します。該当するワークフローを開始する前に、識別情報を確認します。
WATへの引き継ぎを準備
正しいロット情報を用いて、ポッドまたはカセットのラベル印刷と、設定されたソート・マージの準備を行います。
OQAの手順を連携
ロットとWATの情報を確認し、該当するAVIのトラックイン、開始、状態確認、トラックアウト、フォーム入力を自動化します。
システム更新を確認
処理後の工場システムの状態を読み戻します。ワークフローを進める前に、完了したインターフェース操作の結果が意図した記録と一致するか確認します。

自動化の対象は、設定されたソフトウェアおよび装置の手順です。実作業、検査の責任、エンジニアによる判定は、それぞれ定められた範囲に従います。失敗したシステム更新や未完了の更新は、後続対応のために確認できる状態を保ちます。

Autopilotは、装置インターフェースと権限を付与された工場システムへのアクセスを通じて、WAT／OQAのワークフローを連携させます。アプリケーション層は、運用に必要なタスクの状態と記録を表示します。

Builder Agentsは、タスクの実演と運用ルールを、次のステーションや工程向けのワークフローに変換します。エンジニアは、その環境で識別確認、システム更新、例外処理を評価・承認します。

Builder Agentsは、モデルとワークフローを適応させるための現行のプラットフォーム機能です。エンジニアが導入前に新しいタスクをそれぞれ評価します。

あなたの専門知識から、新たな可能性へ。