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运营智能 / 量测抽样

在工艺需要关注的地方进行测量。

根据工艺设备的健康状况确定批次的量测优先级。在抽样策略范围内,提高健康状况较差的设备所处理批次的抽样优先级,降低健康状况较好的设备所处理批次的优先级。

运行流程
半导体工艺场景中的晶圆搬运设备和晶圆载具。
工艺健康状况 / 批次抽样

支撑实际工作的各大平台

iWave Insight iWave Autopilot

抽样是一项运营决策。

量测产能需要优先服务最需要测量的批次,同时保持必要的工艺覆盖范围。处理该批次的设备状况可为决策提供有用依据。

Insight 分析设备健康状况和批次背景。Autopilot 将由此得出的抽样决策落实到操作流程,并核查决策是否已传达到相关工厂系统。

运行流程

从设备健康状况到测量优先级。

关联设备状态、其处理过的批次和抽样流程。

工艺健康状况 / 批次抽样
半导体工艺场景中的晶圆搬运设备和晶圆载具。
设备健康状况证据帮助将测量资源投向需要关注的批次。
  1. 评估工艺设备健康状况

    健康监测智能体分析设备状态,生成用于抽样决策的健康信息。

  2. 关联批次

    将健康评估结果与该设备处理过的批次,以及相关队列或工艺背景关联起来。

  3. 确定测量优先级

    在遵守规定抽样规则的前提下,Insight 提高健康状况较差的设备所处理批次的抽样优先级,降低健康状况较好的设备所处理批次的优先级。

  4. 执行并验证

    Autopilot 执行抽样流程并检查最终系统状态。测量结果和后续设备信息为下一次决策提供依据。

明确优先级,同时确保必要的覆盖范围。

工程师制定抽样策略并审核决策逻辑。将调整后的策略用于实际流程前,须结合规定的测量覆盖要求和运营数据进行评估。

支撑实际工作的各大平台

Insight 提供设备健康分析、抽样可视化和决策支持。

Autopilot 执行操作流程,并检查预期变更是否已生效。

将专业知识带入下一项任务。

Insight Builder Agents 利用数据集、已连接的数据源和既定目标提出假设、识别数据缺口并检验建模方法。Autopilot Builder Agents 则使执行流程适配目标工厂系统。

Builder Agents 提供当前平台的模型和工作流适配能力。每项新任务部署前均由工程师评估。

凭借您的专业经验,开启新的可能。

让 AI 在您的运营中发挥作用。