支撑实际工作的各大平台
可靠测量始于正确配置。
测量配方不只是一条设备指令。晶粒网格、测量点位、膜层堆叠属性和对准基准共同决定设备在何处以及如何测量。
Autopilot 自动执行工程师用于建立和恢复该配置的设备操作规程。当配方需要重新示教时，工作流会遵循适用规程，并在恢复测量前检查结果。
运行流程
从配方配置到重新测量。
自动化流程遵循设备操作规程。每个阶段都保留确保配方可用的检查。
AMT / 配方重新示教
确定测量条件
选择适用的配方及其芯片网格、测量点位和膜层堆叠配置。按规程设置所需的测量偏移量。
示教对准
依次完成低倍和高倍对准，定位参考图案，并遵循设备的图案识别训练规程。
验证测量点位
确认目标点位，执行规定的试测或重新测量。接受重新示教的设置前，检查设备提示和测量结果。
管理合格配方
执行适用的保存、导出或导入流程。黄金配方管理确保已批准的设置可用于下一项测量任务。
自动执行操作规程，保留每项检查。
如果配方无法通过要求的对准或测量检查，就需要工程师介入。自动化流程遵循已验证的操作规程及其验收标准；不会仅凭操作步骤已完成就认定配方合格。
支撑实际工作的各大平台
Autopilot 执行设备配方操作规程、检查设备响应并处理异常。此应用将用于优化配方的操作规程自动化。
将专业知识带入下一项任务。
Builder Agents 根据工程师的演示和讲解，为其他配方或量测设备准备工作流。工程师完善对准步骤、验收检查和异常处理路径，然后验证调整后的流程。
Builder Agents 提供当前平台用于调整模型和工作流的能力。工程师会在部署前评估每项新任务。
凭借您的专业经验，开启新的可能。