設備復原 / Hitachi CDSEM
排除警報，恢復量測。
對準、定位或量測警報中斷作業。ZeroDefects 判讀影像證據；Autopilot 執行經驗證合格的復原程序、檢查結果，並在需要時請工程師介入。
作業流程
CDSEM 測量晶圓上的微小特徵。可靠的測量仰賴找出正確圖案、到達正確位置，並準確放置測量區域。
微小特徵，精準決策。
設備可能因無法對準圖樣、找到指定量測位置，或正確完成量測而中斷。復原不只是確認警報：設備還需要針對所遇情況執行正確的修正程序。
復原工作流程將設備畫面與操作程序串接，依適用的對準、定位或量測路徑執行，再檢查結果。現場手動操作仍可使用，且享有優先權。
作業流程
從作業中斷到完成量測。
依警報執行對應處置。對位、定址與量測各有復原程序；確認步驟則檢查結果。
恢復對準
對準失敗時，依照經驗證合格的程序復原圖樣參照位置，讓設備從正確位置繼續運作。
找到量測位置
定位中斷時，依照復原步驟找出指定特徵，恢復預期的量測條件。
恢復量測
透過設備介面執行量測復原程序。若需修改量測設定，配方重新教導則是相關的工作流程。
確認結果
依經驗證合格的程序檢查產生的影像與設備狀態。符合復原條件後繼續作業；未解決的情況則交由工程團隊處理。
工程師始終掌握控制權。
現場手動操作始終享有優先權。超出已驗證復原範圍的狀況會交由工程師處理；自動化不會與正在進行的手動介入相衝突。
ZeroDefects 提供復原決策所需的影像判讀。
Autopilot 執行經驗證合格的設備程序、驗證應對結果並處理例外路徑。InnoConnect 與設備整合則將工作流程連接至設備。
探索 Builder Agents
教會系統下一次復原。
專業在於辨識狀況、選擇應對方式，以及知道何時該停止。Builder Agents 協助將這些知識轉化為工作流程。
示範與說明
在設備介面上示範復原操作，並補充程序、決策規則及需要工程師介入的條件。
建立與完善
Builder Agents 準備工作流程。工程師運用記錄的證據與模擬，完善操作順序及例外處理流程。
驗證並擴展
針對目標設備與製程評估工作流程。依新任務調整，並驗證每項變更後的作業情境。
發揮您的專業，開創嶄新可能。