設備復原
排除警報,恢復作業。
從對位失敗到量測中斷,在設備需要時提供經確認合格的應對方式。從 Hitachi CDSEM 復原開始。
工業 AI / 解決方案
復原設備、檢測品質、穩定製程、協調作業。讓工業 AI 貼合生產現場的實際需求。
Hitachi CDSEM · 從對準到測量
從工作本身出發。探索如何透過設備、決策與交接,將個別任務連結至更完善的營運。
6 顯示成果
設備復原
從對位失敗到量測中斷,在設備需要時提供經確認合格的應對方式。從 Hitachi CDSEM 復原開始。
檢測品質
穩定製程
自動化量測
自動執行厚度與 Overlay 測量背後的配方程序。建立對準設定、驗證測量位置,並在保留工程檢查的前提下復原測量設定。
協調作業
讓載具、設備介面與工廠系統協同執行同一作業流程。從免手動操作的探針測試機作業開始,再探索周邊工作。
連結智慧
讓現有設備參與工廠系統的資訊交流。InnoConnect 將 SECS/GEM 指令轉換為設備介面操作,並回傳可取得的畫面與日誌資料。再以設備健康狀態輔助的抽樣及零件追溯,擴展營運視野。
各有所長,圍繞關鍵工作協同發揮。
儀表板、操作員介面與整合功能,串接解決方案所需的各項能力。專案可採用單一平台,也可結合多個平台。
新設備、新產品或新製程會改變工作內容。Builder Agents 運用您的目標、資料與工程知識,建立並調整所需的模型或工作流程。
部署前,工程師會依據新任務評估成果。讓專業知識與軟體一同擴展。
探索 iWave Builder Agents發揮您的專業,開創嶄新可能。