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Lösungen / Anlagenzustand

iWave Insight

Metrologie dort einsetzen, wo sie am meisten bewirkt.

Zustandsbasierte Probenahme erkunden

Priorisieren Sie Metrologie-Probenahmen für Lose, die auf Anlagen mit schlechterem Zustand bearbeitet wurden. Stufen Sie Lose von Anlagen mit besserem Zustand niedriger ein – die Evidenz hinter jeder Empfehlung bleibt sichtbar.

So funktioniert es in der Praxis.

Selbstkorrektur beim Die-Bonding
Ein Wafer auf einem Transferarm zwischen Prozesskammern.
Wafer-Handhabung und Prozessanlagen

Vom Anlagenzustand zur Priorisierung der Stichproben

Dort messen, wo es darauf ankommt.

Jedes Los hat eine Prozesshistorie. Insight verknüpft diese Historie mit dem Zustand der Anlagen und hilft dabei, die Messtechnik auf die Lose auszurichten, die genauer untersucht werden müssen.

Anlagenverlaufsdaten · Los-zu-Anlage-Historie · Metrologie-Evidenz

  1. Daten zusammenführen

    Verbinden Sie Anlagenverlaufsdaten, Loshistorie und Messdaten. Erläutern Sie die Datensätze und die Probenahmeentscheidung, die Sie verbessern möchten.

  2. Hypothesen untersuchen

    Builder Agents erstellen und prüfen Modellkandidaten. Nutzer entscheiden, wie Datenlücken behandelt werden; Kandidaten ohne ausreichende Datengrundlage bleiben ungeprüft.

  3. Modellevidenz prüfen

    Prüfen Sie den ausgewählten Kandidaten, seine Grenzen und den vorgesehenen Einsatzkontext vor der Nutzung.

  4. Priorisierung der Probenahme unterstützen

    Lose, die auf Anlagen mit schlechterem Zustand bearbeitet wurden, erhalten eine höhere Priorität für Metrologie-Probenahmen. Lose von Anlagen mit besserem Zustand erhalten eine niedrigere Priorität.

Beispielhafter Workflow. Die Priorisierung der Probenahme ist eine Empfehlung, keine automatische Umgehung der Metrologie. Insight steuert keine Anlagen.

KI-Skalierbarkeit / Builder Agents

Ein neues Ziel. Eine neue Untersuchung.

Der Wechsel von der Priorisierung der Los-Probenahme zur Warnung vor Anlagenverschleiß verändert die erforderliche Evidenz, die Hypothesen und die Bewertung. Builder Agents passen die Untersuchung an dieses Ziel an; das daraus entstehende Modell wird gesondert bewertet.

Ein neues Modellierungsziel erkunden

Ihre Expertise. Neue Möglichkeiten.

Bringen Sie KI zum Einsatz: Betrieb.