ソリューション／ 設備の健全性
iWave Insight重要な対象に計測を集中。
設備の健全性に基づくサンプリングを見る
健全性が低い設備で処理されたロットの計測サンプリングを優先します。健全性が高い設備のロットは優先度を下げ、各推奨の根拠も確認できます。
装置の健全性からサンプリングの優先順位へ
重要な箇所を測定。
すべてのロットにはプロセス履歴があります。Insightはその履歴と装置の健全性を結び付け、より詳細な確認が必要なロットに計測を振り向けるのに役立ちます。
設備のトレースデータ · ロットと設備の履歴 · 計測データ
データを統合する
設備のトレースデータ、ロット履歴、測定データを連携します。データセットと、改善したいサンプリング上の判断を説明します。
仮説を検証する
Builder Agentsがモデル候補を生成・検証します。データ不足への対応方法はユーザーが決定し、裏付けのない候補は検証されないまま残ります。
モデルの根拠を確認する
使用前に、選定された候補、その限界、想定される運用環境を確認します。
サンプリングの優先度に反映する
健全性が低い設備で処理されたロットは、計測サンプリングの優先度を高くします。健全性が高い設備で処理されたロットは、優先度を低くします。
ワークフローの例です。サンプリング優先度は推奨であり、計測を自動的に省略するものではありません。Insightは設備に指令を出しません。
AIの拡張性／Builder Agents
新たな目標には、新たな調査を。
ロットのサンプリング優先度から設備劣化の警告へと目標を変えると、必要な根拠、仮説、評価も変わります。Builder Agentsはその目標に合わせて調査をカスタマイズし、得られたモデルは個別に評価されます。
新たなモデリング目標を検討するあなたの専門知識から、新たな可能性へ。