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解决方案 / 设备健康状态

iWave Insight

将计量检测聚焦于最关键之处。

探索基于设备健康状态的抽样

优先对健康状态较差的设备所处理的批次进行计量抽样。降低健康状态较好的设备所处理批次的优先级,同时呈现每项建议背后的证据。

了解实际应用。

固晶机自愈
工艺腔室之间的传送机械臂上承载着一片晶圆。
晶圆传送与工艺设备

从设备健康状况到抽样优先级

在关键环节进行测量。

每个批次都有自己的工艺历史。Insight 将这些历史记录与设备健康状况关联起来,帮助将量测重点放在需要更密切关注的批次上。

设备运行数据 · 批次与设备关联历史 · 计量检测证据

  1. 汇集数据

    连接设备运行数据、批次历史记录和测量证据。说明数据集及您希望改进的抽样决策。

  2. 研究假设

    Builder Agents 生成并检验候选模型。用户决定如何处理数据缺口;缺乏支持的候选模型仍处于未检验状态。

  3. 审查模型证据

    使用前,审查选定的候选模型、其局限性及预期运行场景。

  4. 指导抽样优先级

    由健康状态较差的设备处理的批次,计量抽样优先级较高;由健康状态较好的设备处理的批次,优先级较低。

示例工作流程。抽样优先级是一项建议,并非自动跳过计量检测。Insight 不向设备发出指令。

AI 可扩展性 / Builder Agents

新目标,新研究。

从批次抽样优先级转向设备劣化预警,会改变所需的证据、假设和评估方式。Builder Agents 会针对该目标定制研究流程;形成的模型将接受独立评估。

探索新的建模目标

凭借您的专业经验,开启新的可能。

让 AI 在您的设备运行发挥作用。