Visuelle Prüfung / Wafer-Handhabung
Beladung vor dem nächsten Schritt prüfen.
Schräg liegende, doppelte, zusätzliche oder fehlende Wafer erkennen. Die Losidentität lesen und mit dem zugehörigen Barcode abgleichen. Beladungsintegrität und Rückverfolgbarkeit in einer Inspektionsaufgabe vereinen.
Die richtigen Wafer. In den richtigen Slots.
Bevor eine Kassette zum nächsten Prozessschritt weitergeht, müssen Inhalt und Identität mit der vorgesehenen Beladung übereinstimmen. Ein Wafer im falschen Slot, zwei Wafer in einem Slot oder ein fehlender Wafer verändern die Ausgangslage für den nächsten Handhabungsschritt.
Diese Inspektionslösung kombiniert zwei Ansichten derselben Aufgabe. Eine Kamera von oben prüft die Waferbeladung; eine seitliche Kamera liest die Losidentität für den Abgleich mit dem Barcode des Folienbeutels. Eine eigene Station vereint Kameras, Beleuchtung, Positionierung und Statusanzeige im Arbeitsablauf des Bedienpersonals.
Der Betriebsablauf
Von der Beobachtung zur Maßnahme.
Kassette bereitstellen
Die Kassette an der Inspektionsstation positionieren und die Beladung unter den konfigurierten Kamera- und Beleuchtungsbedingungen erfassen.
Slots prüfen
Anhand der Aufnahme von oben schräg liegende, doppelte, zusätzliche und fehlende Wafer im Vergleich zur erwarteten Beladung erkennen.
Identität prüfen
Die Losidentität aus der Seitenansicht lesen und mit dem gescannten Barcode des Folienbeutels abgleichen.
Ergebnis nutzbar machen
Inspektionsergebnis und Stationsstatus anzeigen, damit das Bedienpersonal Abweichungen bei Beladung oder Identität vor dem nächsten Handhabungsschritt beheben kann.
Festlegen, wie eine korrekte Bestückung aussieht.
Die Prüfregeln müssen zwischen einem planmäßig leeren Steckplatz und einem fehlenden Wafer unterscheiden. Kamerakalibrierung, Reflexionen, Kassettenposition und lesbare Kennzeichnungen beeinflussen das Ergebnis. Das Prüfergebnis der Station unterstützt den nächsten Schritt des Bedienpersonals; es bedeutet keine automatische Freigabe des Loses.
Fachwissen für die nächste Aufgabe nutzen.
ZeroDefects Builder Agents nutzen Beispielbilder und das gewünschte Inspektionsergebnis, um ein Ensemble zu entwerfen und die Beiträge seiner Modelle abzustimmen. Für eine andere Kassette, ein anderes Waferformat oder ein anderes Inspektionsziel passt das Projekt Datenpipeline und Ensemble an und durchläuft vor dem Einsatz Training, Validierung und Tests.
ZeroDefects stellt die Plattform zur Entwicklung und Verwaltung der Bildverarbeitungspipeline bereit; Kameras und Stationshardware werden für die Aufgabe konfiguriert.
Die Plattformen hinter der Lösung
ZeroDefects bringt Inspektionsmodelle, Datenpipelines und deren MLOps-Lebenszyklus in das Projekt ein. APIs verbinden die Inferenzergebnisse mit der Inspektionsanwendung und dem Rückverfolgbarkeitsprozess.
Ihre Expertise. Neue Möglichkeiten.