Prozesskontrolle / Ionenimplantation
Die Anlage abstimmen. Ergebnisse konstant halten.
Ein instabiler Strahl unterbricht die Ionenimplantation. Das Strahlprofil mit Anlagenstatus und -zustand verknüpfen, die passende Abstimmung bestimmen und über die Anlagenschnittstelle durchführen.
Der Betriebsablauf
Die Plattformen hinter der Lösung
Ein Diagramm zeigt nur einen Teil des Bildes.
Abweichungen des Strahlstroms, Instabilität, mangelnde Gleichmäßigkeit und Winkelalarme erfordern unterschiedliche Reaktionen. Ingenieure interpretieren das Profil zusammen mit dem Anlagenzustand, bevor sie entscheiden, was angepasst werden muss.
Diese Lösung führt die Schritte an Ionenimplantationsanlagen zusammen. Die Reaktion richtet sich nach dem Alarm und der Betriebsanweisung; Parametergrenzen und manuelle Kontrolle sind in den Ablauf integriert.
Der Betriebsablauf
Vom Strahlprofil zur verifizierten Reaktion.
Visuelle Interpretation, industrielles Schlussfolgern und Anlagensteuerung greifen bei derselben Abstimmungsaufgabe ineinander.
Strahlprofil auslesen
ZeroDefects interpretiert die Grafik auf dem Anlagenbildschirm und macht ihre Form für den Abstimmungsprozess nutzbar.
Anlagenzustand verstehen
Insight verbindet die Informationen aus dem Strahlprofil mit Anlagenstatus und -zustand, um die Situation zu beurteilen und die passende Abstimmung zu bestimmen.
Freigegebene Anpassung durchführen
Autopilot führt den Anlagenablauf über die Anlagenschnittstelle aus. Anpassungen bleiben innerhalb der zulässigen Parameterbereiche und Betriebsgrenzen der jeweiligen Anlage.
Strahl erneut prüfen
Das resultierende Profil und den Anlagenstatus erneut prüfen. Falls angezeigt, den Wiederherstellungsablauf fortsetzen oder den Zustand an einen Ingenieur übergeben, wenn die zulässigen Maßnahmen ausgeschöpft sind.
Die Anlage innerhalb ihrer Betriebsgrenzen halten.
Unterschiedliche Implantationsanlagen, Schnittstellenversionen und Alarmzustände erfordern unterschiedliche Verfahren. Der Ablauf wahrt die Kontrolle durch Ingenieure, berücksichtigt Folgealarme und gibt ungeklärte Zustände zur manuellen Bearbeitung zurück.
Die Plattformen hinter der Lösung
ZeroDefects liest das Strahlprofil-Diagramm und liefert die visuellen Informationen für die umfassendere Interpretation.
Insight verknüpft diese Informationen mit dem Betriebsstatus und der Zustandsbewertung der Anlage, um die passende Reaktion zu bestimmen.
Autopilot führt den Anlagenablauf aus und überprüft den resultierenden Zustand.
Fachwissen für die nächste Aufgabe nutzen.
Für eine andere Anlage oder Alarmgruppe können Builder Agents die visuellen Modelle, die Analyselogik und den Betriebsablauf anhand repräsentativer Daten, Anlagenverfahren und des Fachwissens von Ingenieuren anpassen. Die Qualifizierung prüft den gesamten Regelkreis, einschließlich Parametergrenzen und Übergabebedingungen.
Builder Agents bieten die aktuelle Plattformfunktion zur Anpassung von Modellen und Workflows. Ingenieure bewerten jede neue Aufgabe vor dem Einsatz.
Ihre Expertise. Neue Möglichkeiten.