支援作業的平台
圖表只是判斷依據的一部分。
離子束電流漂移、不穩定、均勻性不佳及角度警報，各自需要不同的應對方式。工程師會結合設備狀況判讀輪廓，再決定調整項目。
此解決方案將這套流程整合至離子佈植設備。處理方式依循警報與操作程序，並在工作流程中納入參數限制與人工控制。
作業流程
從離子束資訊到經確認的應對措施。
視覺判讀、工業推理與設備操作，共同完成同一項調校任務。
離子束輪廓／離子佈植
讀取離子束輪廓
ZeroDefects 判讀設備畫面上的圖表，將視覺輪廓轉化為調校流程可用的資訊。
掌握設備狀況
Insight 結合離子束輪廓資訊與設備狀態、健康狀況，判讀當前情況並決定調校方式。
執行經驗證的調整
Autopilot 透過設備介面執行操作程序。調整遵循該設備允許的參數範圍與操作限制。
再次確認離子束
讀取調整後的輪廓與設備狀態。適當時繼續復原程序；若已超出允許的應對範圍，則交由工程師處理。
讓設備維持在操作限制內。
不同的離子佈植機系列、介面版本與警報狀況，需要不同的處理程序。工作流程尊重工程師的管控權限，將後續警報納入考量，並把未解決的狀況交回人工協助處理。
支援作業的平台
ZeroDefects 讀取離子束輪廓圖，提供整體判讀所需的視覺資訊。
Insight 結合這些資訊與設備狀態、健康狀況，判定應對方式。
Autopilot 執行設備工作流程，並確認執行後的狀態。
將專業知識帶入下一項任務。
針對其他設備或警報類別，Builder Agents 可運用具代表性的資料、設備程序及工程知識，調整視覺模型、分析邏輯與操作流程。驗證涵蓋完整流程，包括參數限制與交接條件。
Builder Agents 提供目前平台調整模型與工作流程的能力。每項新任務部署前，均由工程師評估。
發揮您的專業，開創嶄新可能。