プロセス制御／イオン注入
装置を調整し、結果の一貫性を保つ。
ビームが不安定になると、イオン注入が中断します。ビームプロファイルを装置の状態や健全性と組み合わせ、適切な調整方法を判断して装置インターフェースから実行します。
運用の流れ
業務を支えるプラットフォーム
グラフだけでは、全体像は見えない。
ビーム電流のドリフト、不安定性、均一性の低下、角度アラームには、それぞれ異なる対応が必要です。エンジニアは調整内容を決める前に、装置の状態と併せてプロファイルを読み解きます。
このソリューションは、イオン注入装置での一連の対応を統合します。アラームと運用手順に沿って対応し、パラメータの制限と手動制御をワークフローに組み込みます。
運用の流れ
ビームのデータから、検証済みの対応へ。
視覚的な読み取り、産業領域の推論、装置の操作を、同じ調整タスクの中で連携させます。
ビームプロファイルを読み取る
ZeroDefectsが装置画面のグラフを読み取り、その形状を調整プロセスで使える情報に変換します。
装置の状態を把握する
Insightはビームプロファイルの情報を装置の状態や健全性と組み合わせ、状況を解釈して調整方法を判断します。
適格性を確認した調整を適用する
Autopilotが装置インターフェースを通じて運用手順を実行します。調整は、その装置に許可されたパラメータ範囲と運用上の制約に従います。
ビームを再確認する
調整後のプロファイルと装置の状態を読み取ります。適切な場合は復旧手順を続け、許可された対応では解決できない場合はエンジニアに引き継ぎます。
装置を運転許容範囲内に保つ。
イオン注入装置の機種、インターフェースのバージョン、アラームの状態が異なれば、必要な手順も異なります。ワークフローはエンジニアの管理権限を尊重し、後続のアラームも考慮します。解消できない状態は手動対応に引き継ぎます。
業務を支えるプラットフォーム
ZeroDefectsがビームプロファイルのグラフを読み取り、総合的な判断に用いる視覚情報を提供します。
Insightは、その情報を装置の状態や健全性と組み合わせ、対応を判断します。
Autopilotは装置のワークフローを実行し、結果の状態を確認します。
専門知識を次のタスクへ。
別の装置やアラーム群に対しては、Builder Agentsが代表的なデータ、装置の手順、エンジニアリングの知識を用いて、視覚モデル、分析ロジック、運用ワークフローを適応させることができます。適格性確認では、パラメータの制限や引き継ぎ条件を含む一連のループ全体を検証します。
Builder Agentsは、モデルとワークフローを適応させるための現行プラットフォーム機能です。エンジニアが導入前に新しいタスクをそれぞれ評価します。
あなたの専門知識から、新たな可能性へ。