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工艺控制 / 离子注入

调节设备,保持结果稳定一致。

束流不稳定会中断离子注入。结合束流分布、设备状态和健康状况,确定适当的调节方式,并通过设备接口执行。

运行流程
离子注入机束流分布图,显示束流电流随位置的变化。
束流分布 / 离子注入

支撑实际工作的各大平台

iWave ZeroDefects iWave Insight iWave Autopilot

图形只是判断依据的一部分。

束流电流漂移、不稳定、均匀性不佳和角度报警需要采取不同的应对措施。工程师会结合设备状况解读束流分布,再决定调整哪些参数。

该解决方案将这一流程整合到离子注入设备上。处理方式遵循报警信息和操作规程,并将参数限值与人工控制纳入工作流程。

运行流程

从束流数据到经过验证的应对措施。

视觉解读、工业推理和设备操作围绕同一调节任务协同工作。

束流分布 / 离子注入
离子注入机束流分布图,显示束流电流随位置的变化。
束流形态只是决策依据的一部分。设备状态和健康状况提供运行背景。
  1. 读取束流分布

    ZeroDefects 解读设备屏幕上的图形,将其视觉形态转化为调节过程可用的信息。

  2. 了解设备状况

    Insight 将束流分布信息与设备状态及健康状况结合,判断当前状况并确定调节方式。

  3. 执行经过验证的调整

    Autopilot 通过设备接口执行操作规程。参数调整遵循该设备允许的参数范围和运行约束。

  4. 再次检查束流

    读取调整后的束流分布及设备状态。适当时继续执行恢复规程;若已超出允许的应对范围,则交由工程师处理。

确保设备在运行限值内工作。

不同的离子注入机系列、接口版本和报警状况需要不同的操作规程。工作流程遵循工程师的控制要求,考虑后续报警,并将未解决的情况交由人工处理。

支撑实际工作的各大平台

ZeroDefects 读取束流分布图,提供综合判断所需的视觉信息。

Insight 将这些信息与设备状态及健康状况结合,确定应对方式。

Autopilot 执行设备工作流程,并验证执行后的状态。

将专业知识带入下一项任务。

针对其他设备或报警类别,Builder Agents 可利用代表性数据、设备规程和工程知识,调整视觉模型、分析逻辑及操作流程。验证覆盖完整闭环,包括参数限值和交接条件。

Builder Agents 提供当前平台用于调整模型和工作流程的能力。每项新任务都由工程师在部署前评估。

凭借您的专业经验,开启新的可能。

让 AI 在您的运营中发挥作用。