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作業智慧/計量抽樣

在製程最需要關注之處進行量測。

依據製程設備的健康狀態,排定批次量測的優先順序。在符合抽樣政策的前提下,優先抽樣健康狀態較差設備所處理的批次,降低健康狀態較佳設備所處理批次的優先順序。

作業流程
半導體製程環境中的晶圓搬運設備與晶圓載具。
製程健康狀態 / 批次抽樣

支援作業的平台

iWave Insight iWave Autopilot

抽樣是一項營運決策。

量測產能應優先用於最需要量測的批次,同時維持必要的製程涵蓋範圍。處理該批次的設備狀態,也為這項決策提供有用依據。

Insight 分析設備健康狀態與批次情境。Autopilot 將據此做出的抽樣決策帶入作業流程,並確認決策已送達相關工廠系統。

作業流程

從設備健康狀態到量測優先順序。

串連設備狀態、其處理的批次與抽樣流程。

製程健康狀態 / 批次抽樣
半導體製程環境中的晶圓搬運設備與晶圓載具。
設備健康狀態資訊有助於將量測資源導向最需要的批次。
  1. 評估製程設備健康狀態

    健康監控代理程式分析設備狀態,產生抽樣決策所需的健康資訊。

  2. 關聯批次

    將健康評估結果關聯至該設備處理的批次,以及相關的佇列或製程情境。

  3. 設定量測優先順序

    Insight 在符合必要抽樣規則的前提下,提高健康狀態較差設備所處理批次的抽樣優先順序,並降低健康狀態較佳設備所處理批次的優先順序。

  4. 執行並驗證

    Autopilot 執行抽樣流程並確認系統最終狀態。量測結果與後續設備資訊可支援下一次決策。

排定優先順序,不犧牲必要的檢測涵蓋範圍。

工程師制定抽樣政策並審查決策邏輯。變更後的策略投入實際流程前,須依據必要的量測涵蓋範圍與作業資料進行評估。

支援作業的平台

Insight 提供設備健康分析、抽樣狀況可視化與決策支援。

Autopilot 執行作業流程,並確認預期的變更已生效。

將專業知識帶入下一項任務。

Insight Builder Agents 利用資料集、已連接的資料來源和既定目標提出假設、找出資料缺口,並測試建模方法。Autopilot Builder Agents 則調整執行流程,以配合目標工廠系統。

Builder Agents 提供目前平台用於調整模型與流程的能力。每項新任務部署前均由工程師評估。

發揮您的專業,開創嶄新可能。

讓 AI 在您的營運現場發揮效用。