支援作業的平台
在證據出現之處加以運用。
有些製程狀況在批次處理完成後，才會顯現於量測影像中；另一些則可在晶圓仍位於腔室內時觀察到。兩者是不同的檢測情境，對應不同的應對流程。
ZeroDefects 同時支援兩者：將影像分析與批次識別資訊連結，供製程後審查；並在指定的腔室處理時段，以攝影機進行偵測。
作業流程
兩種檢測情境，明確的應對方式。
每條流程各有其資料、觸發條件與設備整合方式。
晶圓檢測 / 製程保護
檢查已儲存的量測影像
相關批次完成後，擷取其已儲存的 CDSEM 影像，分析指定的變色情況。
將發現連結至製程
將影像證據與批次關聯，通知工程團隊，並啟動已設定的上游製程設備應對措施。在此案例中，停機對象是蝕刻設備，而非 CDSEM。
觀察腔室處理時段
在即時腔室應用中，運用攝影機與接近感測器資訊，在指定的處理時段拍攝晶圓，涵蓋旋轉平台運作至卸載的過程。
觸發已設定的停機動作
偵測指定的變色情況，並啟動設備停機 I/O 路徑。保留證據供後續追查。
讓偵測符合實際作業情境。
依據相關的良品與缺陷樣本、相機條件及製程窗口，確認模型符合要求。儲存影像工作流程與即時腔室工作流程，各自都需要整合及處置檢查。
支援作業的平台
ZeroDefects 為這些應用提供視覺偵測，以及相關的通知或停機整合。
將專業知識帶入下一項任務。
Builder Agents 使用具代表性的影像與所需的偵測結果，調整檢測模型組合。部署前，工程師會針對新的晶圓外觀、攝影機位置及製程條件驗證結果。
Builder Agents 提供目前平台調整模型與工作流程的能力。每項新任務均由工程師在部署前評估。
發揮您的專業，開創嶄新可能。