Metrologie / KLA Overlay
Target finden. Messung wiederherstellen.
Target-Bildanalyse und erneutes Einlernen des Rezepts kombinieren, um abgedeckte Overlay-Messalarme zu beheben. Ein falsch platziertes Messfenster von einem Target unterscheiden, das eine Prüfung durch das Engineering erfordert.
Der Betriebsablauf
Die Plattformen hinter der Lösung
Rezeptproblem oder Target-Problem?
Eine Messung kann fehlschlagen, weil das Rezept an der falschen Stelle sucht. Sie kann aber auch fehlschlagen, weil das eingehende Target schwach ausgeprägt, beschädigt oder anderweitig ungeeignet ist. Diese Fälle erfordern unterschiedliche Maßnahmen.
Der Workflow kombiniert Bildanalyse mit den Korrelationsinformationen der Anlage. Autopilot führt bei abgedeckten Rezeptbedingungen das Verfahren zum erneuten Einlernen aus und übergibt ungeklärte Target- oder Anlagenprobleme an das Engineering.
Der Betriebsablauf
Vom Target-Befund zur Wiederherstellung der Rezeptfunktion.
Das erneute Einlernen konzentriert sich auf die Platzierung von Messfenstern und Kernels und prüft zugleich, ob das Target die Messung ermöglicht.
Target prüfen
ZeroDefects analysiert das Target-Bild und die Platzierung der Messbereiche. Der Workflow prüft außerdem die Korrelationsinformationen der Anlage.
Weg zur Wiederherstellung bestimmen
Ein abgedecktes Platzierungsproblem von schwachen oder beschädigten Targets und möglichen Anlagenfehlern unterscheiden. Das passende Verfahren ausführen oder den Fall an das Engineering übergeben.
Rezept erneut einlernen
Autopilot passt die Platzierung von Messfenstern und Kernels über die Anlagenschnittstelle gemäß der qualifizierten Sequenz zum erneuten Einlernen an.
Messqualität bestätigen
Die resultierende Übereinstimmung mit dem Target und das Messergebnis prüfen. Nur fortfahren, wenn die Akzeptanzbedingungen des Verfahrens erfüllt sind.
Nur beheben, was die Befundlage erlaubt.
Das Verschieben eines Messfensters kann weder ein ungeeignetes Target noch einen Hardwarefehler beheben. Der Workflow behandelt diese Fälle getrennt und gewährleistet die Übergabe an das Engineering.
Die Plattformen hinter der Lösung
ZeroDefects liefert die Analyse des Target-Bildes.
Autopilot führt das erneute Einlernen des Rezepts durch, prüft die Reaktion der Anlage und behandelt Ausnahmefälle.
Fachwissen für die nächste Aufgabe nutzen.
Builder Agents helfen, die Bildanalyse und das demonstrierte Verfahren zum erneuten Einlernen an ein anderes Target oder eine andere Rezeptfamilie anzupassen. Ingenieure bewerten Target-Kriterien, Platzierungsregeln und Fehlerbedingungen im neuen Kontext.
Builder Agents bieten die aktuelle Plattformfunktion zur Anpassung von Modellen und Workflows. Ingenieure bewerten jede neue Aufgabe vor der Bereitstellung.
Ihre Expertise. Neue Möglichkeiten.