計測 / KLAオーバーレイ
ターゲットを見つけ、測定を復旧。
ターゲット画像の解析とレシピの再ティーチングを組み合わせ、対応可能なオーバーレイ測定アラームから復旧します。測定ボックスの位置ずれと、エンジニアによる対応が必要なターゲットを見分けます。
運用の流れ
業務を支えるプラットフォーム
レシピの問題か、ターゲットの問題か？
レシピが誤った位置を参照しているために、測定が失敗することがあります。一方、測定対象のターゲットが不鮮明、破損、またはその他の理由で測定に適さないこともあります。それぞれ異なる対応が必要です。
このワークフローは画像解析と装置の相関情報を組み合わせます。Autopilotは対象となるレシピ条件に対して再ティーチング手順を実行し、未解決のターゲットや装置の問題はエンジニアリング担当者に引き継ぎます。
運用の流れ
ターゲットの状態把握からレシピの復旧へ。
再ティーチングでは、測定ボックスとカーネルの配置に重点を置き、ターゲットが測定に適しているかも確認します。
ターゲットを検査
ZeroDefectsがターゲット画像と測定領域の配置を解析します。ワークフローでは装置の相関情報も確認します。
復旧方法を判断
対応可能な配置の問題と、状態の悪いターゲットや損傷したターゲット、装置の故障の可能性を見分けます。該当する手順に従うか、エンジニアリング担当者に引き継ぎます。
レシピを再ティーチング
Autopilotが、適格性確認済みの再ティーチング手順に従い、装置インターフェースを通じて測定ボックスとカーネルの配置を調整します。
測定品質を確認
調整後のターゲットの一致度と測定応答を確認します。手順で定めた合格条件を満たした場合にのみ続行します。
根拠に基づいて復旧する。
測定ボックスを移動しても、不適切なターゲットやハードウェアの故障は修復できません。ワークフローではこれらの状態を区別し、エンジニアへの引き継ぎを確実に行います。
業務を支えるプラットフォーム
ZeroDefectsがターゲット画像を解析します。
Autopilotがレシピの再ティーチングを実行し、装置の応答を検証して例外に対応します。
専門知識を次のタスクへ。
Builder Agentsは、画像解析と実証済みの再ティーチング手順を別のターゲットやレシピ群に適応させるのに役立ちます。エンジニアは、新しい条件下でターゲットの判定基準、配置ルール、失敗条件を評価します。
Builder Agentsは、モデルとワークフローを適応させるための現行プラットフォーム機能です。エンジニアが導入前に新しいタスクを一つひとつ評価します。
あなたの専門知識から、新たな可能性へ。