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量测 / KLA 套刻

找到标靶,恢复测量。

结合标靶图像分析与配方重新示教,恢复适用范围内的 Overlay 测量报警。区分测量框错位与需要工程团队介入的标靶问题。

运行流程
套刻目标图像,测量框位于目标特征周围。
Overlay / 测量标靶

支撑实际工作的各大平台

iWave ZeroDefects iWave Autopilot

是配方问题,还是标靶问题?

测量失败可能是因为配方查找的位置不对,也可能是因为输入目标模糊、破损或因其他原因不适合测量。这些情况需要不同的应对方式。

该工作流程将图像分析与设备的相关性信息相结合。Autopilot 按照重新示教流程处理适用的配方条件,并将未解决的标靶或设备问题交由工程团队处理。

运行流程

从标靶证据到配方恢复。

重新示教重点调整测量框和内核的位置,同时检查标靶能否支持测量。

Overlay / 测量标靶
套刻目标图像,测量框位于目标特征周围。
判断测量框和内核的位置时,还须考虑标靶的相关性质量。
  1. 检查标靶

    ZeroDefects 分析标靶图像及测量区域的位置。工作流程还会检查设备的相关性信息。

  2. 确定恢复路径

    区分适用范围内的定位问题、信号弱或受损的标靶,以及可能的设备故障。按相应流程处理,或将问题交由工程团队处理。

  3. 重新示教配方

    Autopilot 按照已验证的重新示教步骤,通过设备接口调整测量框和内核的位置。

  4. 确认测量质量

    检查调整后的标靶匹配情况和测量响应。只有满足流程的验收条件,才能继续。

只恢复证据支持的问题。

移动测量框无法修复不合适的目标或硬件故障。该流程将这些情况分别处理,并保留向工程师交接的环节。

支撑实际工作的各大平台

ZeroDefects 提供标靶图像分析。

Autopilot 执行配方重新示教、验证设备响应并处理异常。

将专业知识带入下一项任务。

Builder Agents 帮助将图像分析和已示范的重新示教流程适配到其他标靶或配方系列。工程师在新场景下评估标靶判定标准、定位规则和失效条件。

Builder Agents 提供当前平台的模型和工作流程适配能力。工程师在部署前评估每项新任务。

凭借您的专业经验,开启新的可能。

让 AI 在您的运营中发挥作用。