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量測 / KLA 疊對

找準標靶,恢復測量。

結合標靶影像分析與配方重新示教,排除涵蓋範圍內的 Overlay 測量警報。區分測量框位置偏移與需要工程人員處理的標靶問題。

作業流程
Overlay 標靶影像,測量框配置於標靶特徵周圍。
Overlay / 測量標靶

支援作業的平台

iWave ZeroDefects iWave Autopilot

是配方問題,還是標靶問題?

測量失敗可能是因為配方找錯位置,也可能是輸入的標靶影像模糊、破損或有其他不適合測量的情況。不同原因需要不同處理方式。

此工作流程結合影像分析與設備的相關性資訊。Autopilot 依照重新示教程序處理涵蓋範圍內的配方狀況,並將未解決的標靶或設備問題交由工程人員處理。

作業流程

從標靶證據到配方復原。

重新示教聚焦於測量框與核心的配置,同時確認標靶是否足以支援測量。

Overlay / 測量標靶
Overlay 標靶影像,測量框配置於標靶特徵周圍。
評估測量框與核心配置時,必須一併考量標靶的相關性品質。
  1. 檢查標靶

    ZeroDefects 分析標靶影像與測量區域的配置。工作流程也會檢查設備的相關性資訊。

  2. 判定復原途徑

    區分涵蓋範圍內的配置問題、訊號微弱或受損的標靶,以及可能的設備故障。依照相應程序處理,或交由工程人員處理。

  3. 重新示教配方

    Autopilot 依照經驗證的重新示教流程,透過設備介面調整測量框與核心的配置。

  4. 確認測量品質

    檢查調整後的標靶匹配情況與測量回應。只有符合程序的驗收條件,才繼續執行。

根據證據執行可行的復原。

移動量測框無法修復不適用的標靶或硬體故障。此流程會區分這些情況,並保留交由工程師處理的交接程序。

支援作業的平台

ZeroDefects 提供標靶影像分析。

Autopilot 執行配方重新示教、驗證設備回應並處理例外情況。

將專業知識帶入下一項任務。

Builder Agents 協助將影像分析及已示範的重新示教程序調整至其他標靶或配方系列。工程人員會在新情境中評估標靶判準、配置規則及失敗條件。

Builder Agents 提供目前平台調整模型與工作流程的能力。每項新任務部署前均由工程人員評估。

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